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化学气相沉积法制备钨芯SiC纤维

第一章 绪论第1-27页
 1.1 前言第10页
 1.2 化学气相沉积(CVD)法与碳化硅第10-14页
  1.2.1 化学气相沉积(CVD)第10-12页
  1.2.2 碳化硅第12-14页
 1.3 CVD法制备SiC纤维第14-22页
  1.3.1 CVD沉积基底的选择第14-16页
   1.3.1.1 钨丝第14-16页
   1.3.1.2 碳纤维第16页
  1.3.2 CVD法沉积SiC纤维的先驱体气体第16页
  1.3.3 CVD法制备SiC纤维的工艺第16-20页
   1.3.2.1 清洗阶段第17-18页
   1.3.2.2 沉积阶段第18-20页
  1.3.4 其他几种制备SiC纤维的方法第20-22页
   1.3.4.1 超细微粉烧结法第20页
   1.3.4.2 碳纤维转化法第20页
   1.3.4.3 先驱体转化法第20-22页
 1.4 CVD法SiC纤维的研究历史及发展现状第22-26页
  1.4.1 CVD法SiC纤维的研究历史第22-23页
  1.4.2 CVD法SiC纤维的发展现状第23-26页
 1.5 本文研究目的及主要研究内容第26-27页
第二章 CVD法制备SiC纤维的沉积装置及实验方法第27-36页
 2.1 前言第27页
 2.2 沉积装置第27-30页
  2.2.1 沉积装置的改进方法第27-29页
  2.2.2 沉积装置的其它部件和功能第29-30页
 2.3 实验方法第30-34页
  2.3.1 实验原料第30-33页
  2.3.2 沉积工艺过程第33页
  2.3.3 纤维的测试分析方法第33-34页
   2.3.3.1 纤维的直径测试第33页
   2.3.3.2 纤维密度的测量第33-34页
   2.3.3.3 纤维的拉伸力学性能测试第34页
 2.4 本章小结第34-36页
第三章 粗钨丝为基底CVD法制备SiC纤维的研究第36-58页
 3.1 前言第36页
 3.2 实验参数对沉积速率的影响第36-42页
  3.2.1 工艺参数第36-37页
  3.2.2 实验参数对沉积速率影响第37-42页
   3.2.2.1 温度对纤维沉积速率和纤维形貌的影响第38-40页
   3.2.2.2 MTS含量对沉积速率和纤维结构的影响第40-42页
 3.3 正交实验及其结果的讨论第42-47页
  3.3.1 正交实验表第42-43页
  3.3.2 正交实验结果的统计分析第43-47页
   3.3.2.1 直观分析第43-45页
   3.3.2.2 方差分析第45-47页
 3.4 纤维的密度第47-48页
 3.5 纤维的拉伸力学性能第48-55页
  3.5.1 纤维拉伸性能的结果第48-50页
  3.5.2 纤维强度的Weibull统计第50-55页
 3.6 SiC沉积反应的机理和纤维的成份第55-56页
  3.6.1 沉积机理分析第55-56页
  3.6.2 纤维成分的定性分析第56页
 3.7 本章小结第56-58页
第四章 细钨丝为基底CVD法制备SiC纤维的研究第58-68页
 4.1 前言第58页
 4.2 细钨丝沉积参数的选取第58-59页
 4.3 制备纤维的主要问题第59-60页
 4.4 沉积参数对沉积速率的影响第60-62页
  4.4.1 温度对纤维沉积速率的影响第60-61页
  4.4.2 MTS含量对沉积速率的影响第61-62页
  4.4.4 沉积时间对沉积速率的影响第62页
 4.4 纤维强度的分析第62-63页
 4.5 纤维成分的定性分析第63-65页
 4.6 纤维强度较低的原因分析第65-67页
 4.7 本章小结第67-68页
第5章 结论第68-73页
攻读硕士论文期间发表的论文第73-74页
致谢第74-75页
独创性声明第75页
知识产权保护声明第75页

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