| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| ·硬质薄膜的制备方法与离子镀 | 第8-10页 |
| ·化学气相沉积法(CVD) | 第8-9页 |
| ·物理气相沉积法(PVD) | 第9页 |
| ·离子镀 | 第9-10页 |
| ·电弧离子镀技术 | 第10-12页 |
| ·电弧离子镀的工作原理 | 第10页 |
| ·电弧离子镀设备结构 | 第10-12页 |
| ·电弧离子镀特点 | 第12页 |
| ·硬质薄膜的研究热点及展望 | 第12-15页 |
| ·TiN系薄膜的物理、化学性能及其不足 | 第12-14页 |
| ·薄膜合金化技术及其Al合金化 | 第14-15页 |
| ·多层复合技术 | 第15页 |
| ·稀土材料表面改性 | 第15-19页 |
| ·稀土化学热处理与稀土材料表面改性 | 第15-16页 |
| ·稀土元素在材料表面改性中的作用 | 第16页 |
| ·稀土材料表面改性分类 | 第16-17页 |
| ·稀土元素Ce的特性 | 第17-18页 |
| ·在硬质薄膜研究中引入稀土元素进行改性的思考 | 第18-19页 |
| ·本课题研究的意义、创新性及主要试验工作 | 第19-21页 |
| ·本论文研究目的及其意义 | 第19页 |
| ·研究内容、方法 | 第19-20页 |
| ·主要实验工作 | 第20页 |
| ·论文的特色和创新性 | 第20-21页 |
| 第二章 实验方法和试验原理 | 第21-34页 |
| ·实验材料及试样制备 | 第21-22页 |
| ·基体材料的选取与试样 | 第21页 |
| ·靶材 | 第21-22页 |
| ·试样的清洗工艺 | 第22页 |
| ·镀膜工艺及实验设计 | 第22-24页 |
| ·稀土元素Ce对4Cr5MoV钢离子镀TiN系薄膜的改性 | 第22-23页 |
| ·稀土元素Ce对W18Cr4V钢离子镀Ti(Al)N系薄膜的改性 | 第23页 |
| ·为便于热分析实验专门设计的镀膜实验 | 第23-24页 |
| ·薄膜的结构分析 | 第24-26页 |
| ·薄膜表面形貌观察和致密性 | 第24-25页 |
| ·薄膜的厚度测量 | 第25页 |
| ·相组成及结构分析 | 第25-26页 |
| ·薄膜的力学性能测量 | 第26-29页 |
| ·显微硬度的测量 | 第26页 |
| ·结合强度的测量 | 第26-28页 |
| ·摩擦磨损性能实验 | 第28-29页 |
| ·薄膜的高温抗氧化实验 | 第29-30页 |
| ·恒温氧化实验 | 第29页 |
| ·连续升温氧化实验 | 第29-30页 |
| ·抗热震性实验 | 第30页 |
| ·薄膜的热分析 | 第30-34页 |
| ·热重分析法 | 第30-31页 |
| ·差热分析法 | 第31-34页 |
| 第三章 Ce对Ti(Al)N系多元膜结构和性能影响 | 第34-48页 |
| ·薄膜形貌观察 | 第34-38页 |
| ·薄膜的表面形貌及其致密性 | 第34-37页 |
| ·薄膜厚度测量 | 第37-38页 |
| ·薄膜的力学性能 | 第38-44页 |
| ·显微硬度 | 第38-40页 |
| ·薄膜的膜／基结合力 | 第40-41页 |
| ·摩擦磨损性能实验结果及分析 | 第41-44页 |
| ·薄膜的XRD分析 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 Ce对Ti(Al)N系多元膜高温抗氧化性影响 | 第48-55页 |
| ·薄膜的高温抗氧化性能及分析 | 第48-51页 |
| ·恒温与连续升温氧化实验结果 | 第48-49页 |
| ·高温抗氧化分析 | 第49-50页 |
| ·薄膜的抗热震性 | 第50-51页 |
| ·薄膜的热分析 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 硕士期间发表和已投稿的文章 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
