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Si衬底上ZnSe,ZnTe薄膜及其量子阱的LP-MOCVD生长和光学特性

摘要第1-5页
英文摘要第5-7页
目录第7-10页
第一章 前言第10-25页
   ·宽带Ⅱ-Ⅵ族半导体在生长和光学性能方面的研究进展第10-14页
   ·在Si衬底上生长宽带Ⅱ-Ⅵ族半导体及其光学性能方面的研究进展第14-19页
   ·本论文要解决的问题第19-20页
 参考文献第20-25页
第二章 Si衬底上宽带Ⅱ-Ⅵ族半导体薄膜的制备和表征技术第25-37页
   ·宽带Ⅱ-Ⅵ族薄膜的制备方法第25-32页
  1 金属有机化合物化学气相沉积系统(MOCVD)第25-27页
  2 有机物等离子增强化学气相沉积(MO-PECVD)第27-29页
  3 电子束蒸发设备第29-30页
  4 磁控溅射设备第30-31页
  5 退火设备第31-32页
   ·宽带Ⅱ-Ⅵ族薄膜的结构表征和发光光谱测量第32-36页
  1 X射线衍射(XRD)谱第32-34页
  2 发光光谱第34-36页
  3 拉曼散射光(Raman Scattering spectra)谱第36页
 参考文献第36-37页
第三章 Si衬底上ZnO薄膜的生长与性能第37-52页
   ·在氮化的Si衬底上用PECVD法生长ZnO薄膜第37-43页
  1 ZnO薄膜生长第37-38页
  2 Si衬底的氮化处理对ZnO薄膜结构和发光性能的影响第38-41页
  3 对氮化的机理的讨论第41-43页
   ·在Si衬底上用电子束蒸发法生长ZnO薄膜的结构和光学性质第43-50页
  1 ZnO薄膜生长第43页
  2 ZnO薄膜的结构特征第43-46页
  3 ZnO薄膜的光学特征性第46-50页
 参考文献第50-52页
第四章 在ZnO-Si基板上ZnSe和ZnTe薄膜的生长与特性第52-76页
   ·在ZnO-Si基板上ZnSe薄膜的生长与特性第53-65页
  1 ZnSe薄膜的生长第53页
  2 ZnSe薄膜的X-射线衍射谱第53-56页
  3 ZnSe薄膜光致发光谱第56-58页
  4 ZnSe变温光致发光谱第58-62页
  5 小结第62-63页
  参考文献第63-65页
   ·在ZnO-Si基板上ZnTe薄膜生长和光学特性研究第65-76页
  1 ZnTe薄膜的生长第65-66页
  2 ZnTe薄膜的X-射线衍射谱第66-69页
  3 ZnTe薄膜的光致发光谱第69-74页
  4 小结第74页
  参考文献第74-76页
第五章 在ZnO-Si基板上ZnCdSe/ZnSe和ZnCdTe/ZnTe量子阱的生长和光学特第76-92页
   ·在ZnO-Si基板上ZnCdSe/ZnSe量子阱的生长及其光学特性第77-86页
  1 ZnCdSe/ZnSe量子阱的制备与XRD测量第77-78页
  2 ZnCdSe/ZnSe量子阱共振Raman散射谱第78-80页
  3 ZnCdSe/ZnSe量子阱的光致发光谱第80-84页
  4 小结第84页
  参考文献第84-86页
   ·在ZnO-Si基板上ZnCdTe/ZnTe量子阱的生长、表征和特性研究第86-92页
  1 ZnCdTe/ZnTe量子阱的制备第86-88页
  2 ZnCdTe/ZnTe量子阱的形貌第88-89页
  3 ZnCdTe/ZnTe量子阱的光致发光谱第89-90页
  4 小结第90-91页
  参考文献第91-92页
第六章 结论第92-95页
附录第95-98页
 个人简历第95页
 发表文章目录第95-98页
致谢第98页

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