CVD金刚石厚膜高效抛光的基础研究
| 第一章 绪论 | 第1-14页 |
| 1．1 CVD金刚石厚膜的制备 | 第8-9页 |
| 1．2 CVD金刚石厚膜的机械应用 | 第9-13页 |
| 1．2．1 CVD金刚石厚膜的切割 | 第9-10页 |
| 1．2．2 CVD金刚石厚膜的焊接 | 第10页 |
| 1．2．3 CVD金刚石厚膜的抛光 | 第10-13页 |
| 1．3 本课题的研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 金刚石厚膜高效机械抛光实验研究 | 第14-27页 |
| 2．1 金刚石晶体结构及其机械性能 | 第14-15页 |
| 2．2 机械抛光金刚石厚膜的原理 | 第15-16页 |
| 2．3 实验装置和实验方案 | 第16-18页 |
| 2．3．1 抛光装置 | 第16-17页 |
| 2．3．2 胶粘剂选择 | 第17页 |
| 2．3．3 实验方案 | 第17-18页 |
| 2．4 实验结果 | 第18-22页 |
| 2．5 分析和讨论 | 第22-26页 |
| 2．5．1 正交实验结果分析 | 第22-24页 |
| 2．5．2 扫描电镜分析 | 第24-25页 |
| 2．5．3 高效机械抛光分析 | 第25-26页 |
| 2．6 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 金刚石厚膜残余应力分析及实验研究 | 第27-37页 |
| 3．1 残余应力及分类 | 第27页 |
| 3．2 金刚石厚膜残余应力产生原因 | 第27-28页 |
| 3．3 金刚石厚膜残余应力的测量 | 第28-31页 |
| 3．3．1 常用的金刚石膜残余应力测量方法 | 第28-29页 |
| 3．3．2 金刚石厚膜残余应力的X射线测定 | 第29-31页 |
| 3．4 实验结果及分析 | 第31-35页 |
| 3．5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第四章 金刚石厚膜的裂纹分析及抛光实验研究 | 第37-43页 |
| 4．1 裂纹的形成原因 | 第37页 |
| 4．2 实验装置和实验方案 | 第37-39页 |
| 4．2．1 抛光装置 | 第37-38页 |
| 4．2．2 机床抛光工艺 | 第38-39页 |
| 4．2．3 实验方案 | 第39页 |
| 4．3 实验结果及其分析 | 第39-42页 |
| 4．3．1 表面质量分析 | 第39-41页 |
| 4．3．2 扫描电镜分析 | 第41-42页 |
| 4．4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第五章 金刚石厚膜电火花加工的实验研究 | 第43-52页 |
| 5．1 金刚石厚膜的表面改性 | 第43-44页 |
| 5．2 金刚石厚膜的化学镀 | 第44-48页 |
| 5．2．1 化学镀前处理 | 第44-45页 |
| 5．2．2 化学镀镍 | 第45-46页 |
| 5．2．3 化学镀铜 | 第46-48页 |
| 5．3 金刚石厚膜的电火花加工 | 第48-51页 |
| 5．3．1 电火花加工的特点及应用范围 | 第48页 |
| 5．3．2 电火花加工物理过程 | 第48-49页 |
| 5．3．3 实验条件 | 第49-50页 |
| 5．3．4 实验结果与讨论 | 第50页 |
| 5．3．5 电火花加工金刚石厚膜的去除机理 | 第50-51页 |
| 5．4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第六章 总结与展望 | 第52-54页 |
| 6．1 总结 | 第52-53页 |
| 6．2 展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表的主要论文 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |
