合金元素对氮化硅制备的影响与研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-28页 |
| ·氮化硅基本性质和结构 | 第8-11页 |
| ·Si_3N_4基本性质 | 第8页 |
| ·Si_3N_4结构种类 | 第8页 |
| ·Si_3N_4晶体结构 | 第8-11页 |
| ·氮化硅制备 | 第11-19页 |
| ·Si_3N_4粉末制备技术 | 第11-16页 |
| ·Si_3N_4陶瓷制备工艺 | 第16-19页 |
| ·氮化硅陶瓷性能与应用 | 第19-20页 |
| ·Si_3N_4性能 | 第19-20页 |
| ·Si_3N_4应用 | 第20页 |
| ·氮化硅发展历史与研究动态 | 第20-24页 |
| ·发展历史 | 第20-22页 |
| ·研究动态 | 第22-24页 |
| ·合金元素作用 | 第24-25页 |
| ·合金元素 | 第24-25页 |
| ·微量合金元素 | 第25页 |
| ·Si_3N_4中的合金元素 | 第25-26页 |
| ·本论文研究目标和内容 | 第26-28页 |
| ·研究目标 | 第26页 |
| ·研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 实验方法 | 第28-33页 |
| ·实验原料 | 第28-29页 |
| ·实验设备 | 第29页 |
| ·实验流程 | 第29-33页 |
| 第三章 实验结果与分析 | 第33-47页 |
| ·硅粉原料的性能与评价 | 第33页 |
| ·合金元素对Si_3N_4制备的影响 | 第33-35页 |
| ·氮化工艺对Si_3N_4制备的影响 | 第35-39页 |
| ·氮化温度的影响 | 第35-36页 |
| ·氮化时间的影响 | 第36-37页 |
| ·尿素的影响 | 第37-39页 |
| ·单一元素对Si_3N_4制备的影响 | 第39-41页 |
| ·Fe对氮化的影响 | 第39-40页 |
| ·Fe、Al对氮化影响的比较 | 第40-41页 |
| ·复合元素对Si_3N_4制备的影响 | 第41-45页 |
| ·Fe含量不变,Al含量增加 | 第41-42页 |
| ·Fe含量增加,Al含量增加 | 第42-43页 |
| ·Fe+Al含量为1.5%时 | 第43页 |
| ·Fe+Al、Fe对氮化影响的比较 | 第43-45页 |
| ·SEM形貌分析 | 第45-47页 |
| 第四章 氮化硅合成的反应机理探讨 | 第47-58页 |
| ·硅粉氮化热力学分析 | 第47-49页 |
| ·硅粉氮化机制 | 第49-50页 |
| ·Fe对氮化的作用机理探讨 | 第50-52页 |
| ·Al对氮化的作用机理探讨 | 第52-53页 |
| ·Fe+Al对氮化的作用机理探讨 | 第53-54页 |
| ·部分产物的形成分析 | 第54-58页 |
| ·合金元素产物 | 第54-55页 |
| ·Si_3N_4氧化产物 | 第55-58页 |
| 第五章 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-66页 |
| 附录: 发表论文情况 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |