光谱型白光干涉在测距和光学薄膜相位测试中的应用研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-24页 |
| ·薄膜技术的应用和发展 | 第7-10页 |
| ·色散增强型光学薄膜 | 第7-9页 |
| ·色散补偿型薄膜 | 第9-10页 |
| ·传统光学薄膜的检测 | 第10-15页 |
| ·薄膜位相特性检测技术 | 第15-19页 |
| ·干涉技术 | 第15-17页 |
| ·两种薄膜位相特性检测方案 | 第17-19页 |
| ·本文的主要内容和创新点 | 第19-21页 |
| 参考文献 | 第21-24页 |
| 第2章 白光干涉方法原理 | 第24-39页 |
| ·白光干涉的部分相干光理论 | 第24-31页 |
| ·光波的复数表示 | 第25页 |
| ·光强与功率谱密度 | 第25-26页 |
| ·光的干涉与相干度 | 第26-30页 |
| ·相干长度和可见度 | 第30-31页 |
| ·白光干涉的分析方法 | 第31-37页 |
| ·麦克尔逊干涉仪 | 第31-32页 |
| ·时间域白光干涉分析法 | 第32-34页 |
| ·频率域白光干涉分析法 | 第34-37页 |
| 参考文献 | 第37-39页 |
| 第3章 元件色散及绝对距离的白光干涉测试系统 | 第39-52页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·系统方案 | 第39-42页 |
| ·实验原理及数据处理 | 第42-43页 |
| ·实验结果与讨论 | 第43-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |
| 第4章 薄膜位相的白光干涉测试系统 | 第52-74页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·薄膜的非线性位相 | 第52-55页 |
| ·薄膜反射位相检测 | 第55-72页 |
| ·系统方案 | 第55-56页 |
| ·薄膜位相测量算法 | 第56-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-74页 |
| 第5章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
