望远系统分辨率检测技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-9页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·本文研究目的和意义 | 第7-8页 |
| ·本文研究的主要内容和主要技术指标 | 第8-9页 |
| 第二章 光学系统分辨率测试原理 | 第9-28页 |
| ·衍射受限系统的分辨率 | 第9-11页 |
| ·分辨率图案 | 第11-15页 |
| ·光学零件分辨率的测量 | 第15-16页 |
| ·显微系统分辨率的测量 | 第16-20页 |
| ·照相物镜分辨率检测 | 第20-23页 |
| ·望远系统分辨率的测量 | 第23-26页 |
| ·低对比分辨率检测 | 第26-28页 |
| 第三章 分辨率检测系统分系统概述 | 第28-34页 |
| ·光学隔振平台 | 第28页 |
| ·光学目标发生器 | 第28-30页 |
| ·六维调整台 | 第30-31页 |
| ·CCD变倍摄像系统 | 第31页 |
| ·信号处理与控制系统 | 第31-32页 |
| ·软件系统 | 第32-34页 |
| 第四章 分辨率检测系统分系统设计 | 第34-52页 |
| ·平行光管物镜的设计 | 第34-37页 |
| ·望远系统的设计 | 第37-44页 |
| ·视度片的设计 | 第44-46页 |
| ·高分辨率长焦距摄像物镜的设计 | 第46-49页 |
| ·变倍视频显微镜物镜的设计 | 第49-52页 |
| 第五章 系统精度分析 | 第52-55页 |
| ·系统精度的来源 | 第52页 |
| ·系统精度分析 | 第52-53页 |
| ·实验结果精度分析 | 第53页 |
| ·系统误差来源 | 第53-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 附录表 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
