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Pentacene基有机薄膜晶体管性能改善机制的研究

致谢第1-6页
中文摘要第6-8页
ABSTRACT第8-10页
第10-14页
第一章 引言第14-36页
   ·有机薄膜晶体管(OTFTs)的历史与进展第15-16页
   ·薄膜晶体管(TFTs)的应用领域第16-19页
   ·薄膜晶体管器件的工作机理第19-22页
     ·场效应晶体管的工作机理第19-20页
     ·OTFT器件的工作机理第20-22页
   ·OTFT器件材料的选取第22-25页
     ·OTFT器件的有机半导体材料第23-24页
     ·OTFT器件的绝缘层材料第24-25页
     ·OTFT器件的电极材料第25页
   ·有机薄膜晶体管的器件结构和制备方法第25-28页
     ·OTFT器件的结构第25-27页
     ·有机薄膜晶体管的制备方法第27-28页
   ·有机薄膜晶体管器件的性能表征第28-31页
     ·场效应迁移率第29-30页
     ·阈值电压第30页
     ·亚阈值摆幅第30页
     ·开关电流比第30-31页
   ·影响OTFT器件性能的几种陷阱缺陷第31-33页
     ·OTFT器件中陷阱态的种类第31页
     ·电荷陷阱态对载流子输运的影响第31-32页
     ·电荷陷阱态与OTFT器件阈值电压之间的关系第32-33页
   ·目前OTFT器件中主要存在的问题第33-34页
   ·本论文的主要研究内容第34-36页
第二章 有机半导体pentacene薄膜的生长机制及其OTFT器件中电场诱导电荷的注入和耗尽的研究第36-50页
   ·引言第36页
   ·有机半导体薄膜的生长机制第36-46页
     ·实验及其测试第38-39页
     ·硅基衬底上pentacene薄膜生长过程第39-46页
       ·pentacene薄膜的生长机制的研究第39-42页
       ·pentacene薄膜结晶情况及其相态变化的研究第42-46页
   ·OTFT器件中电场诱导电荷的累积层厚度的研究第46-49页
     ·器件的制备及测试第46-47页
     ·pentacene薄膜中电荷载流子累积层的厚度定量的分析第47-49页
   ·本章小结第49-50页
第三章 界面修饰层对OTFT器件性能的影响的研究第50-74页
   ·引言第50-51页
   ·修饰层诱导下的pentacene多晶薄膜的微观结构的转变及其对OTFTs性能的影响第51-60页
     ·器件的制备及测试第51-52页
     ·结果与分析第52-60页
       ·表面形貌及表面能对OTFT器件性能的影响第52-57页
       ·多晶的pentacene薄膜微观结构的变化对OTFT器件性能的影响第57-60页
   ·带有phenyltrimethoxysilane界面修饰层的OTFTs性能的优化第60-66页
     ·器件的制备及测试第60-61页
     ·结果与分析第61-66页
   ·低栅极电压控制下带有phenyltrimethoxysilane单分子自组装层的有机薄膜晶体管场效应特性研究第66-72页
     ·器件的制备及测试第66-67页
     ·结果与分析第67-72页
   ·本章小结第72-74页
第四章 无机、有机及有机/无机复合绝缘层的有机薄膜晶体管特性的研究第74-106页
   ·引言第74-75页
   ·以电子束制备的SiO_2绝缘层的pentacene基OTFT器件的性能优化第75-81页
     ·器件的制备及测试第75-76页
     ·结果与讨论第76-81页
   ·以磁控溅射制备的栅极绝缘层的OTFT器件第81-91页
     ·栅极绝缘层SiNx的成分对OTFT器件性能的影响第81-86页
       ·器件的制备及测试第81-82页
       ·结果与分析第82-86页
     ·复合SiNx/SiO_2栅极绝缘层的OTFT器件的研究第86-91页
       ·器件的制备及测试第86-87页
       ·结果与分析第87-91页
   ·有机PVP栅极绝缘层的OTFT器件性能的研究第91-95页
     ·器件的制备及测试第91-92页
     ·结果与分析第92-95页
   ·有机无机复合栅极绝缘层的OTFT器件性能的研究第95-103页
     ·器件的制备及测试第95-96页
     ·结果与分析第96-103页
       ·复合绝缘层的OTFT器件第96-97页
       ·界面修饰下的复合绝缘层OTFT器件第97-103页
   ·本章小结第103-106页
第五章 全有机柔性的和双极型的薄膜晶体管特性的研究第106-122页
   ·引言第106-107页
   ·PVP栅极绝缘层的柔性OTFT器件特性的研究第107-109页
     ·器件的制备及测试第107-108页
     ·结果与分析第108-109页
   ·弯曲应变效应对柔性OTFT器件性能的影响第109-114页
     ·器件的制备及测试第109-110页
     ·结果与分析第110-114页
   ·Pentacene/C_(60)基双极型OTFT器件性能的研究第114-118页
     ·器件的制备及测试第114-115页
     ·结果与分析第115-118页
   ·NPB电子阻挡层对C_(60)/pentacene基双极型OTFT器件性能的影响第118-120页
     ·器件的制备及测试第118页
     ·结果与分析第118-120页
   ·本章小结第120-122页
第六章 结论第122-126页
参考文献第126-144页
作者简历第144-154页
学位论文数据集第154页

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