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半导体氧化铁薄膜的制备、表征及光伏特性研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-12页
第1章 绪论第12-30页
   ·太阳能和光电转化第12-20页
     ·研究背景第12-13页
     ·太阳能电池的发展史第13-14页
     ·太阳能电池的工作原理第14-16页
     ·太阳能电池的技术指标第16-17页
     ·太阳能光伏材料第17-19页
     ·太阳能电池的发展方向第19-20页
   ·铁的氧化物的性质第20-22页
     ·铁的氧化物的种类第20页
     ·铁的氧化物的性质第20-22页
   ·氧化铁材料的应用第22-23页
   ·氧化铁材料的研究现状第23-24页
     ·氧化铁材料的气敏研究现状第23页
     ·氧化铁的磁性能研究现状第23-24页
     ·氧化铁材料的光催化性能研究现状第24页
     ·氧化铁材料的光伏性能研究现状第24页
   ·氧化铁薄膜的制备方法第24-28页
     ·化学气相沉积法第24-25页
     ·溶胶-凝胶法第25页
     ·喷雾热解法第25-26页
     ·磁控溅射法第26页
     ·热蒸发法第26-27页
     ·激光脉冲沉积法第27-28页
   ·本论文的研究内容和意义第28-29页
   ·本章小结第29-30页
第2章 氧化铁薄膜的制备第30-38页
   ·激光脉冲沉积的制膜机理第30-31页
   ·激光脉冲沉积设备介绍第31-32页
   ·薄膜制备准备第32-33页
     ·靶材第32页
     ·衬底的选择与清洗第32-33页
   ·实验方案第33-34页
   ·氧化铁薄膜的性能测试第34-37页
     ·射线衍射(XRD)测试第34页
     ·薄膜的光学性质测试第34页
     ·薄膜的电学性能测试第34-35页
     ·X 射线电子能谱测试(XPS)第35-36页
     ·原子力显微镜测试(AFM)第36页
     ·I-V 特性曲线测试第36-37页
   ·本章小结第37-38页
第3章 薄膜的晶体结构和成份分析第38-51页
   ·氧化铁薄膜的成份分析第38-39页
   ·衬底温度变化对薄膜结晶性能的影响第39-43页
   ·氧气流量变化对薄膜晶体结构的影响第43-46页
   ·沉积时间变化对薄膜晶体结构的影响第46-48页
   ·衬底材料变化对薄膜晶体结构的影响第48-50页
   ·本章小结第50-51页
第4章 氧化铁薄膜的光学性能分析第51-59页
   ·衬底温度变化对薄膜光学性能的影响第51-53页
   ·氧气流量变化对薄膜光学性能的影响第53-54页
   ·沉积时间变化对薄膜光学性能的影响第54-55页
   ·衬底材料变化对薄膜光学性能的影响第55-58页
   ·本章小结第58-59页
第5章 氧化铁薄膜的电学性能分析第59-65页
   ·衬底温度变化对薄膜电学性能的影响第59-60页
   ·氧气流量变化对薄膜电学性质的影响第60-61页
   ·沉积时间变化对薄膜电学性质的影响第61-63页
   ·衬底材料变化对薄膜电学性质的影响第63页
   ·薄膜的击穿特性第63-64页
   ·本章小结第64-65页
第6章 氧化铁薄膜的表面形貌分析第65-68页
   ·结晶质量不同对薄膜表面形貌影响第65-66页
   ·衬底材料不同对薄膜表面形貌影响第66-67页
   ·本章小结第67-68页
第7章 氧化铁薄膜太阳能电池的制备及其光伏性能测试第68-76页
   ·重掺P-硅/N-氧化铁薄膜太阳能电池的制备第68-71页
     ·硅片清洗第68-70页
     ·PN 结制备第70-71页
     ·电极制备第71页
   ·光伏性能测试及分析第71-73页
     ·光伏性能测试原理第71-72页
     ·重掺P-硅/N-氧化铁薄膜太阳能电池的测试及分析第72-73页
   ·本章小结第73-74页
   ·全文总结第74-75页
   ·有待深入研究的问题第75-76页
致谢第76-77页
参考文献第77-83页
附录第83页

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