摘要 | 第1-7页 |
ABSTRACT | 第7-12页 |
第1章 绪论 | 第12-30页 |
·太阳能和光电转化 | 第12-20页 |
·研究背景 | 第12-13页 |
·太阳能电池的发展史 | 第13-14页 |
·太阳能电池的工作原理 | 第14-16页 |
·太阳能电池的技术指标 | 第16-17页 |
·太阳能光伏材料 | 第17-19页 |
·太阳能电池的发展方向 | 第19-20页 |
·铁的氧化物的性质 | 第20-22页 |
·铁的氧化物的种类 | 第20页 |
·铁的氧化物的性质 | 第20-22页 |
·氧化铁材料的应用 | 第22-23页 |
·氧化铁材料的研究现状 | 第23-24页 |
·氧化铁材料的气敏研究现状 | 第23页 |
·氧化铁的磁性能研究现状 | 第23-24页 |
·氧化铁材料的光催化性能研究现状 | 第24页 |
·氧化铁材料的光伏性能研究现状 | 第24页 |
·氧化铁薄膜的制备方法 | 第24-28页 |
·化学气相沉积法 | 第24-25页 |
·溶胶-凝胶法 | 第25页 |
·喷雾热解法 | 第25-26页 |
·磁控溅射法 | 第26页 |
·热蒸发法 | 第26-27页 |
·激光脉冲沉积法 | 第27-28页 |
·本论文的研究内容和意义 | 第28-29页 |
·本章小结 | 第29-30页 |
第2章 氧化铁薄膜的制备 | 第30-38页 |
·激光脉冲沉积的制膜机理 | 第30-31页 |
·激光脉冲沉积设备介绍 | 第31-32页 |
·薄膜制备准备 | 第32-33页 |
·靶材 | 第32页 |
·衬底的选择与清洗 | 第32-33页 |
·实验方案 | 第33-34页 |
·氧化铁薄膜的性能测试 | 第34-37页 |
·射线衍射(XRD)测试 | 第34页 |
·薄膜的光学性质测试 | 第34页 |
·薄膜的电学性能测试 | 第34-35页 |
·X 射线电子能谱测试(XPS) | 第35-36页 |
·原子力显微镜测试(AFM) | 第36页 |
·I-V 特性曲线测试 | 第36-37页 |
·本章小结 | 第37-38页 |
第3章 薄膜的晶体结构和成份分析 | 第38-51页 |
·氧化铁薄膜的成份分析 | 第38-39页 |
·衬底温度变化对薄膜结晶性能的影响 | 第39-43页 |
·氧气流量变化对薄膜晶体结构的影响 | 第43-46页 |
·沉积时间变化对薄膜晶体结构的影响 | 第46-48页 |
·衬底材料变化对薄膜晶体结构的影响 | 第48-50页 |
·本章小结 | 第50-51页 |
第4章 氧化铁薄膜的光学性能分析 | 第51-59页 |
·衬底温度变化对薄膜光学性能的影响 | 第51-53页 |
·氧气流量变化对薄膜光学性能的影响 | 第53-54页 |
·沉积时间变化对薄膜光学性能的影响 | 第54-55页 |
·衬底材料变化对薄膜光学性能的影响 | 第55-58页 |
·本章小结 | 第58-59页 |
第5章 氧化铁薄膜的电学性能分析 | 第59-65页 |
·衬底温度变化对薄膜电学性能的影响 | 第59-60页 |
·氧气流量变化对薄膜电学性质的影响 | 第60-61页 |
·沉积时间变化对薄膜电学性质的影响 | 第61-63页 |
·衬底材料变化对薄膜电学性质的影响 | 第63页 |
·薄膜的击穿特性 | 第63-64页 |
·本章小结 | 第64-65页 |
第6章 氧化铁薄膜的表面形貌分析 | 第65-68页 |
·结晶质量不同对薄膜表面形貌影响 | 第65-66页 |
·衬底材料不同对薄膜表面形貌影响 | 第66-67页 |
·本章小结 | 第67-68页 |
第7章 氧化铁薄膜太阳能电池的制备及其光伏性能测试 | 第68-76页 |
·重掺P-硅/N-氧化铁薄膜太阳能电池的制备 | 第68-71页 |
·硅片清洗 | 第68-70页 |
·PN 结制备 | 第70-71页 |
·电极制备 | 第71页 |
·光伏性能测试及分析 | 第71-73页 |
·光伏性能测试原理 | 第71-72页 |
·重掺P-硅/N-氧化铁薄膜太阳能电池的测试及分析 | 第72-73页 |
·本章小结 | 第73-74页 |
·全文总结 | 第74-75页 |
·有待深入研究的问题 | 第75-76页 |
致谢 | 第76-77页 |
参考文献 | 第77-83页 |
附录 | 第83页 |