移相解算共焦系统数据处理与实验技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外共焦显微技术的发展现状及分析 | 第10-15页 |
| ·共焦显微技术的发展历程 | 第10-11页 |
| ·干涉共焦显微术的发展现状 | 第11-15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 移相解算共焦检测原理及总体方案设计 | 第17-32页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·移相解算共焦检测技术 | 第17-23页 |
| ·移相解算共焦检测原理 | 第17-20页 |
| ·移相解算共焦特性分析 | 第20-21页 |
| ·移相解算共焦离焦量方程修正 | 第21-23页 |
| ·移相解算共焦检测影响因素分析 | 第23-25页 |
| ·光强探测噪声影响分析 | 第23-24页 |
| ·相移误差影响分析 | 第24-25页 |
| ·二次离焦位移大小与定位误差影响分析 | 第25页 |
| ·移相解算共焦实验装置总体方案设计 | 第25-31页 |
| ·移相解算共焦实验装置组成 | 第25-28页 |
| ·移相解算共焦系统的光电转换电路设计 | 第28-30页 |
| ·移相解算共焦实验系统的计算机控制方案 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 相位提取算法研究 | 第32-42页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·移相干涉的基本原理 | 第32-33页 |
| ·相位提取算法 | 第33-40页 |
| ·最佳采样方式的确定 | 第34-35页 |
| ·移相算法误差分析 | 第35-37页 |
| ·传统移相算法 | 第37-39页 |
| ·改进移相算法 | 第39-40页 |
| ·四步平均算法 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 移相解算共焦数据处理及软件设计 | 第42-52页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·数据处理方法 | 第42-44页 |
| ·系统软件设计 | 第44-51页 |
| ·软件整体设计 | 第44-45页 |
| ·数据采集卡程序设计 | 第45-48页 |
| ·离焦量解算程序设计 | 第48-50页 |
| ·微位移台控制程序设计 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 实验结果及分析 | 第52-62页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·移相解算共焦检测实验 | 第52-61页 |
| ·实验系统组成 | 第52-54页 |
| ·光强稳定性实验 | 第54-55页 |
| ·离焦位移解算重复性实验 | 第55-58页 |
| ·轴向分辨率实验 | 第58-59页 |
| ·标准光栅扫描 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
