| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 文献综述与选题 | 第11-25页 |
| ·选题背景 | 第11-12页 |
| ·文献综述 | 第12-19页 |
| ·论文选题和研究内容 | 第19-20页 |
| 参考文献 | 第20-25页 |
| 2 CF_4在Al_2O_3和P/Al_2O_3上的分解反应 | 第25-38页 |
| ·实验部分 | 第25-28页 |
| ·Al_2O_3和P/Al_2O_3的制备 | 第25页 |
| ·CF_4分解反应 | 第25-26页 |
| ·结构表征 | 第26-28页 |
| ·结果与讨论 | 第28-37页 |
| ·Al_2O_3上的CF_4分解反应 | 第28-32页 |
| ·P/Al_2O_3上的CF_4分解反应 | 第32-37页 |
| ·小结 | 第37页 |
| 参考文献 | 第37-38页 |
| 3 CF_4在氟化钠-单质硅-金属氧化物三元混合物上的分解反应 | 第38-58页 |
| ·实验部分 | 第38-39页 |
| ·NaF-Si-MO脱氟剂的制备 | 第38-39页 |
| ·CF_4分解反应 | 第39页 |
| ·结构表征 | 第39页 |
| ·结果与讨论 | 第39-55页 |
| ·CF_4在NaF-Si-MO上的程序升温和850°C恒温分解反应 | 第39-51页 |
| ·反应温度对NaF-Si-MO上CF_4分解反应的影响 | 第51-54页 |
| ·CF_4在不同组成的NaF-Si-MgO上的分解反应 | 第54-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 4 NF3在Al_2O_3基脱氟剂上的分解反应 | 第58-75页 |
| ·实验部分 | 第58-59页 |
| ·脱氟剂的制备 | 第58-59页 |
| ·NF3分解反应 | 第59页 |
| ·结构表征 | 第59页 |
| ·结果与讨论 | 第59-73页 |
| ·单一金属氧化物上的NF3分解反应 | 第59-66页 |
| ·碱土金属改性Al_2O_3上的NF3分解反应 | 第66-67页 |
| ·过渡金属改性Al_2O_3上的NF3分解反应 | 第67-73页 |
| ·小结 | 第73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 5 结论 | 第75-77页 |
| ·结论 | 第75-76页 |
| ·后续工作展望 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 附录I 作者简介 | 第78页 |
| 附录II 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第78-79页 |
