| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·微机械加速度计国内外研究现状 | 第8-13页 |
| ·微机械加速度计的分类 | 第8-10页 |
| ·国外研究现状 | 第10-13页 |
| ·国内研究现状 | 第13页 |
| ·研究的目的及意义 | 第13-14页 |
| ·研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 电容式闭环加速度计工作原理 | 第15-21页 |
| ·电容式加速度计工作原理 | 第15-19页 |
| ·电容式加速度计机械结构工作原理 | 第15-17页 |
| ·电容式加速度计信号检测原理 | 第17-19页 |
| ·电容式加速度计系统闭环反馈原理 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 闭环系统总体设计及理想模型验证 | 第21-41页 |
| ·闭环加速度计系统架构设计 | 第21-29页 |
| ·微小差动电容检测方式分析比较 | 第21-25页 |
| ·连续时间闭环反馈方式分析比较 | 第25-27页 |
| ·系统架构总体设计 | 第27-29页 |
| ·系统线性模型建立及传递函数分析 | 第29-32页 |
| ·系统线性模型建立 | 第29-31页 |
| ·系统传递函数分析 | 第31-32页 |
| ·系统SIMULINK数学模型仿真及HSPICE电学模型仿真 | 第32-39页 |
| ·闭环系统的SIMULINK数学模型建立与仿真验证 | 第33-35页 |
| ·闭环系统的电学模型建立及HSPICE仿真验证 | 第35-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 闭环系统具体电路实现及仿真验证 | 第41-61页 |
| ·信号检测与处理电路设计 | 第41-52页 |
| ·电荷敏感放大器设计 | 第41-43页 |
| ·高通滤波增益电路设计 | 第43-46页 |
| ·斩波同步解调电路设计 | 第46-48页 |
| ·低通滤波电路设计 | 第48-51页 |
| ·仪表放大器设计 | 第51-52页 |
| ·反馈控制电路设计 | 第52-54页 |
| ·波形产生电路设计 | 第54-58页 |
| ·正弦波振荡电路设计 | 第54-57页 |
| ·延时电路与波形变换电路设计 | 第57-58页 |
| ·整体电路仿真 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第5章 闭环加速度计系统噪声分析 | 第61-69页 |
| ·闭环加速度计系统噪声模型 | 第61-62页 |
| ·机械热噪声分析 | 第62-63页 |
| ·电荷敏感放大器噪声分析 | 第63-65页 |
| ·高通滤波器等效输入噪声分析 | 第65-66页 |
| ·斩波同步解调噪声分析 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 致谢 | 第75页 |