| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-21页 |
| ·固体电解质 | 第8-15页 |
| ·固体电解质简介 | 第8-9页 |
| ·电致变色材料中的固体电解质 | 第9-13页 |
| ·锂离子固体电解质 | 第13-15页 |
| ·LLTO薄膜的研究现状 | 第15-19页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第15-16页 |
| ·磁控溅射沉积 | 第16-17页 |
| ·电子束蒸发 | 第17-18页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第18-19页 |
| ·选题的目的与意义 | 第19-21页 |
| 第2章 实验部分 | 第21-27页 |
| ·样品的制备 | 第21-25页 |
| ·LLTO靶材的制备 | 第21-23页 |
| ·基片清洗 | 第23页 |
| ·LLTO薄膜的制备 | 第23-25页 |
| ·性能表征 | 第25-27页 |
| ·X射线晶体衍射分析(XRD) | 第25页 |
| ·全谱直读感耦等离子体原子发射光谱仪分析(ICP-AES) | 第25页 |
| ·X射线色散能谱仪分析(EDX) | 第25页 |
| ·扫描电镜分析(SEM) | 第25-26页 |
| ·原子力显微镜分析(AFM) | 第26页 |
| ·紫外可见分光光度计分析(UV-vis) | 第26页 |
| ·交流阻抗测试分析(AC Impedance) | 第26-27页 |
| 第3章 基片温度对LLTO薄膜的影响 | 第27-36页 |
| ·LLTO靶材的性质 | 第28-30页 |
| ·基片温度对LLTO薄膜结构的影响 | 第30-31页 |
| ·基片温度对LLTO薄膜形貌的影响 | 第31-33页 |
| ·基片温度对LLTO薄膜电学性能的影响 | 第33-34页 |
| ·基片温度对LLTO薄膜光学性能的影响 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 热处理对LLTO薄膜的影响 | 第36-50页 |
| ·LLTO薄膜的成分分析 | 第36-37页 |
| ·热处理时间对LLTO薄膜光学性能的影响 | 第37-39页 |
| ·热处理温度对LLTO薄膜结构和形貌的影响 | 第39-44页 |
| ·热处理温度对LLTO薄膜电学性能的影响 | 第44-47页 |
| ·热处理温度对LLTO薄膜光学性能的影响 | 第47-48页 |
| ·本章小节 | 第48-50页 |
| 第5章 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 附录 | 第56页 |