超精密运动平台中气浮支承振动特性的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题的研究背景与意义 | 第9-10页 |
| ·超精密运动平台中气浮支承的研究现状 | 第10-17页 |
| ·本文主要研究内容与组织结构 | 第17-19页 |
| 2 气浮支承气膜力学模型的建立 | 第19-33页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·气浮支承原理 | 第19-20页 |
| ·气浮气膜的力学建模 | 第20-22页 |
| ·气浮气膜的仿真模型 | 第22-24页 |
| ·仿真模型的实验验证 | 第24-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 气浮支承的微振动 | 第33-63页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·气旋现象及其影响 | 第33-36页 |
| ·气旋引起微振动的实验验证 | 第36-41页 |
| ·微振动的振幅特性 | 第41-43页 |
| ·影响微振动的相关因素 | 第43-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 4 气浮支承的气锤振动 | 第63-83页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·气浮支承气锤振动机理 | 第63-65页 |
| ·气锤振动的力学模型 | 第65-69页 |
| ·实验测试及结果 | 第69-73页 |
| ·压力腔形状对气锤振动的影响 | 第73-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 5 气浮支承的振动传递特性 | 第83-110页 |
| ·引言 | 第83页 |
| ·气浮平台系统及其特性 | 第83-85页 |
| ·气浮支承的动力学建模 | 第85-90页 |
| ·双气浮平台的动力学设计 | 第90-95页 |
| ·各种因素对振动传递特性的影响 | 第95-104页 |
| ·振动传递特性的调控方法 | 第104-109页 |
| ·本章小结 | 第109-110页 |
| 6 全文总结与研究展望 | 第110-113页 |
| ·全文总结 | 第110-111页 |
| ·主要创新点 | 第111页 |
| ·研究展望 | 第111-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
| 参考文献 | 第114-123页 |
| 附录1 作者在攻读博士学位期间的学术成果 | 第123-124页 |
| 专著 | 第123页 |
| 学术论文 | 第123页 |
| 专利 | 第123-124页 |
| 软件著作权 | 第124页 |
