| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 目次 | 第11-13页 |
| 1 绪论 | 第13-23页 |
| ·信息与通信技术的发展现状和光集成器件 | 第13-19页 |
| ·硅光子学 | 第19-20页 |
| ·本论文的主要内容和创新点 | 第20-23页 |
| 2 光波导基本理论和数值计算方法 | 第23-41页 |
| ·光波导概述 | 第23-24页 |
| ·板波导及其解析计算方法 | 第24-27页 |
| ·条形波导及其近似计算方法 | 第27-29页 |
| ·数值计算方法 | 第29-41页 |
| 3 硅基微纳光波导的设计、分析和制作 | 第41-70页 |
| ·硅基微纳强限制光波导概述 | 第41-42页 |
| ·深刻蚀二氧化硅脊形光波导的制作和测试 | 第42-54页 |
| ·SU-8聚合物脊形光波导的制作和测试 | 第54-57页 |
| ·硅纳米线光波导的弯曲特性研究 | 第57-70页 |
| 4 硅纳米线阵列波导光栅的通道均匀性设计 | 第70-85页 |
| ·阵列波导光栅概述 | 第70-72页 |
| ·硅纳米线阵列波导光栅的通道均匀性设计 | 第72-85页 |
| 5 基于硅纳米线微环谐振器的超高密度波分复用器 | 第85-95页 |
| ·背景陈述 | 第85-86页 |
| ·微环谐振器概述 | 第86-88页 |
| ·基于硅纳米线微环谐振器的超高密度波分复用器 | 第88-95页 |
| 6 InGaAs PIN光电探测器和硅纳米线光波导的异质集成 | 第95-112页 |
| ·硅和Ⅲ-Ⅴ族材料的异质集成 | 第95-97页 |
| ·采用BCB聚合物的晶片粘合工艺 | 第97-98页 |
| ·InGaAs PIN探测器和硅纳米线光波导的集成 | 第98-112页 |
| 7 总结与展望 | 第112-114页 |
| 参考文献 | 第114-131页 |
| 作者简介 | 第131-134页 |