| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 硅基光电探测器的研究进展和意义 | 第11-23页 |
| 1.1.1 硅基光子集成的研究背景和意义 | 第11-14页 |
| 1.1.2 硅基光电探测器的研究意义和研究现状 | 第14-17页 |
| 1.1.3 全硅探测器的研究现状与面临问题 | 第17-23页 |
| 1.2 主要研究工作与创新点 | 第23-24页 |
| 1.3 文章的结构安排 | 第24-25页 |
| 第二章 基于波导型电阻微加热器的全硅光电探测器 | 第25-36页 |
| 2.1 基于SSA与 DSA效应的全硅探测器 | 第25-28页 |
| 2.2 基于波导型电阻微加热器的全硅光电探测器的结构与工作原理 | 第28-30页 |
| 2.3 波导型电阻微加热器设计与仿真 | 第30-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 硅基直波导器件中的光功率探测与热光调谐 | 第36-48页 |
| 3.1 硅基直波导器件的结构设计与制作工艺 | 第36-37页 |
| 3.2 硅基直波导器件中的光功率探测 | 第37-40页 |
| 3.2.1 探测器中驱动信号的频响特性 | 第37-39页 |
| 3.2.2 探测器的交流I-V曲线特性 | 第39页 |
| 3.2.3 探测器中光电流对光功率的响应特性 | 第39-40页 |
| 3.3 硅基直波导器件中的热光调谐与光功率探测 | 第40-46页 |
| 3.3.1 实验系统介绍与工作原理分析 | 第41-43页 |
| 3.3.2 探测器中光电流对热调电压的响应特性 | 第43-44页 |
| 3.3.3 热调电压对光电流与光功率响应特性的影响 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 微环谐振腔中的光功率探测与热光调谐 | 第48-59页 |
| 4.1 电阻微加热器集成的微环谐振腔结构设计 | 第48-49页 |
| 4.2 单微环谐振腔器件中的热光调谐与光功率探测 | 第49-52页 |
| 4.2.1 单微环谐振腔中的光功率探测 | 第49-50页 |
| 4.2.2 单微环谐振腔在热光调谐下的光功率探测 | 第50-52页 |
| 4.3 双微环谐振腔器件中的热光调节与光功率探测 | 第52-58页 |
| 4.3.1 双微环谐振腔中的光功率探测 | 第52-56页 |
| 4.3.2 双微环谐振腔在热光调谐下的光功率探测 | 第56-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 研究工作总结及创新点 | 第59-60页 |
| 5.2 研究展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第68-71页 |
| 硕士论文答辩意见 | 第71页 |