单晶蓝宝石水合抛光机理与试验研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| ·LED 衬底的要求与现状 | 第11-12页 |
| ·衬底表面完整性对高亮度LED 的影响 | 第12-13页 |
| ·单晶蓝宝石的材料特性 | 第13-15页 |
| ·单晶蓝宝石的晶体结构 | 第13-14页 |
| ·单晶蓝宝石的材料特性 | 第14-15页 |
| ·单晶蓝宝石超光滑表面研究现状 | 第15-20页 |
| ·单晶蓝宝石晶体材料加工技术简介 | 第15-16页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第16-20页 |
| ·本论文的主要研究工作和解决的问题 | 第20-21页 |
| 第2章 水合抛光轨迹均匀性研究 | 第21-37页 |
| ·抛光轨迹均匀性研究方法 | 第21-22页 |
| ·抛光相对运动分析及抛光轨迹仿真 | 第22-28页 |
| ·主动驱动式 | 第22-24页 |
| ·摆动驱动式 | 第24-25页 |
| ·抛光轨迹仿真 | 第25-28页 |
| ·抛光均匀性评价方法与计算流程 | 第28-30页 |
| ·工件抛光轨迹均匀性评价方法 | 第28页 |
| ·抛光均匀性计算流程 | 第28-30页 |
| ·抛光盘开孔形式对抛光轨迹均匀性的影响 | 第30-35页 |
| ·直线式开孔抛光轨迹仿真计算及其结果 | 第30-32页 |
| ·圆环式开孔的抛光轨迹仿真计算及其结果 | 第32-33页 |
| ·螺旋线式开孔的抛光轨迹仿真计算及其结果 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 水合抛光温度场的有限元模拟 | 第37-43页 |
| ·热传导问题的有限元法 | 第37页 |
| ·有限元模型及其边界条件的建立 | 第37-39页 |
| ·试验装置及模型的建立 | 第37-38页 |
| ·创建几何模型、划分网格 | 第38-39页 |
| ·边界条件及外载荷 | 第39页 |
| ·求解结果及讨论 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 蓝宝石水合抛光中水合反应原理 | 第43-54页 |
| ·水蒸汽在蓝宝石表面的吸附作用 | 第43-47页 |
| ·材料固-气界面吸附作用 | 第43页 |
| ·吸附作用特性曲线 | 第43-45页 |
| ·水在蓝宝石表面的化学吸附特性曲线 | 第45-47页 |
| ·水合抛光机理分析 | 第47-49页 |
| ·A1_20_3 和H_20 间的水合反应 | 第47-48页 |
| ·蓝宝石水合抛光机理 | 第48-49页 |
| ·蓝宝石水合抛光试验研究 | 第49-52页 |
| ·可行性分析 | 第49-50页 |
| ·蓝宝石的水合抛光试验研究 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第5章 蓝宝石衬底水合抛光的表面完整性测试 | 第54-65页 |
| ·蓝宝石水合抛光机设计 | 第54-56页 |
| ·水合抛光试验 | 第56-57页 |
| ·水合抛光表面完整性测试 | 第57-64页 |
| ·XRD 测试 | 第57-58页 |
| ·表面粗糙度测试 | 第58-62页 |
| ·TEM 测试 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第6章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·研究总结 | 第65-66页 |
| ·课题展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第71页 |
