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无阀微泵多场耦合数值模拟及降价建模

致谢第1-5页
摘要第5-6页
Abstract第6-8页
目录第8-10页
1 绪论第10-21页
   ·引言第10-12页
     ·MEMS技术第10页
     ·微泵的应用背景第10-11页
     ·微泵的分类第11-12页
   ·微泵实验研究的近况第12-17页
     ·有阀微泵第12-14页
     ·无阀微泵第14-17页
   ·微泵模拟研究的近况第17-18页
   ·本文的研究内容及意义第18-21页
     ·课题的来源与介绍第18-19页
     ·本文的主要内容第19-21页
2 无阀微泵扩张管/收缩管内流动分析第21-32页
   ·微流体的特性第21-22页
   ·无阀微泵的原理与流量分析第22-26页
     ·无阀微泵的工作原理第22-23页
     ·无阀微泵的流量分析第23-26页
   ·扩张管/收缩管内流动特性分析第26-31页
     ·扩张管/收缩管的结构与特性第26-27页
     ·扩张管/收缩管内流动的模型第27-28页
     ·数值模拟结果及分析第28-31页
   ·本章小节第31-32页
3 无阀微泵流固耦合振动分析第32-41页
   ·流固耦合力学基本理论第32-33页
   ·泵膜的流固耦合模态第33-36页
     ·流体对泵膜振动模态的影响第33-34页
     ·湿模态法提取流固耦合模态第34-36页
   ·有限元模型的建立第36-37页
   ·有限元计算结果第37-40页
     ·微泵结构尺寸对湿模态的影响第37-39页
     ·腔内流体压力对湿模态的影响第39-40页
   ·本章小节第40-41页
4 静电致动泵膜的降阶建模研究第41-59页
   ·静电驱动在微泵中的应用第41页
   ·基于模态叠加法ROM的建立第41-44页
   ·基于ROM的泵膜静态特性研究第44-54页
     ·吸合过程ROM的计算精度研究第44-47页
     ·吸合过程的参数化研究第47-49页
     ·吸合-释放的静态循环过程第49-54页
   ·基于ROM的泵膜动态特性研究第54-58页
     ·双模态ROM的动态模拟第54-56页
     ·吸合-释放的动态循环过程第56-58页
   ·本章小节第58-59页
5 无阀静电微泵多场耦合数值模拟第59-76页
   ·无阀静电微泵的多场耦合问题第59-60页
   ·微泵多场耦合问题的数学描述第60-61页
   ·基于CFD的动态吸合模拟第61-63页
   ·无阀静电微泵的3D数值模拟第63-75页
     ·两种模拟方法的比较研究第64-70页
     ·驱动频率对微泵特性的影响第70-73页
     ·出口背压对微泵特性的影响第73-75页
   ·本章小结第75-76页
6 总结与展望第76-79页
   ·本文的主要研究成果第76-77页
   ·后续研究的建议与展望第77-79页
参考文献第79-83页
作者简历及在学期间取得的科研成果第83页
硕士期间论文发表情第83页

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