| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-12页 |
| 1 引言 | 第12-19页 |
| ·微机械电子系统(MEMS) | 第12-17页 |
| ·概述 | 第12-14页 |
| ·微执行器 | 第14-15页 |
| ·微马达 | 第15-17页 |
| ·有关电水动力微泵微马达的国内外研究现状 | 第17-18页 |
| ·课题的研究目标与研究内容 | 第18-19页 |
| ·研究目标 | 第18页 |
| ·研究内容 | 第18-19页 |
| 2 有关电水动力学的理论 | 第19-31页 |
| ·电水动力学的研究现状 | 第19-20页 |
| ·直流电场下的电水动力-电体积力(ELECTRIC BODY FORCES) | 第20-23页 |
| ·电泳力 | 第20-22页 |
| ·介电泳力 | 第22-23页 |
| ·电致伸缩力 | 第23页 |
| ·交流电场下的电水动力-交流动电(AC ELECTROKINETIC) | 第23-30页 |
| ·平均介电泳力 | 第26-27页 |
| ·平均行波介电泳力 | 第27-28页 |
| ·平均旋转介电泳力 | 第28-29页 |
| ·介电泳、行波介电泳和旋转介电泳三种力同时作用的情况 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 仿真 | 第31-47页 |
| ·本章介绍 | 第31页 |
| ·电场及力场仿真的基本方程 | 第31-33页 |
| ·直流电场基本方程 | 第32页 |
| ·交流电场基本方程 | 第32-33页 |
| ·力场仿真基本方法 | 第33页 |
| ·电场仿真及力场仿真 | 第33-46页 |
| ·直流电场 | 第33-36页 |
| ·交流电场 | 第36-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 4 电水动力微马达实验装置的设计 | 第47-64页 |
| ·交流电场作用下的电水动力微马达实验装置设计 | 第47-62页 |
| ·实验装置原理与整体思路 | 第47页 |
| ·电压源 | 第47-49页 |
| ·安全装置 | 第49页 |
| ·数据采集装置 | 第49-50页 |
| ·实验台 | 第50-62页 |
| ·直流电场作用下的其他实验装置 | 第62-63页 |
| ·由直流电场的非均匀性所引发的介电泳实验装置 | 第62页 |
| ·直流电场作用下的电水动力微马达 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 5 实验 | 第64-75页 |
| ·实验流程及注意事项 | 第64-66页 |
| ·实验现象 | 第66-68页 |
| ·电水动力微马达实验装置实验现象 | 第66-67页 |
| ·其他实验装置实验现象 | 第67-68页 |
| ·实验结果 | 第68-74页 |
| ·电压与输出转速 | 第68-71页 |
| ·液体与输出转速 | 第71-72页 |
| ·电极内径与输出转速 | 第72-73页 |
| ·电极个数与输出转速 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 6 总结及展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
