| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第9页 |
| 1.2 锂离子势垒层与硅基锂离子电池负极 | 第9-16页 |
| 1.2.1 锂离子电池的工作原理 | 第9-11页 |
| 1.2.2 硅基微型锂离子电池 | 第11-12页 |
| 1.2.3 锂离子势垒层的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.4 硅基锂离子电池负极材料的研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 论文组织结构 | 第16-17页 |
| 第二章 锂离子电池组装与表征方法 | 第17-23页 |
| 2.1 电池组装 | 第17-18页 |
| 2.2 电化学测试 | 第18-20页 |
| 2.2.1 循环伏安法 | 第18页 |
| 2.2.2 电化学阻抗谱 | 第18-20页 |
| 2.2.3 恒流充放电测试 | 第20页 |
| 2.3 物理化学表征 | 第20-23页 |
| 2.3.1 X射线光电子能谱分析 | 第20页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜 | 第20-21页 |
| 2.3.3 透射电子显微镜 | 第21页 |
| 2.3.4 X射线衍射 | 第21-23页 |
| 第三章 热生长二氧化硅薄膜作为锂离子势垒层的性能研究 | 第23-33页 |
| 3.1 背景介绍 | 第23页 |
| 3.2 样品制备与表征 | 第23-24页 |
| 3.3 结果和讨论 | 第24-31页 |
| 3.3.1 电化学测试结果 | 第24-25页 |
| 3.3.2 XPS表征结果 | 第25-30页 |
| 3.3.3 薄膜形貌 | 第30-31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-33页 |
| 第四章 氮化硅薄膜作为锂离子电池负极的研究 | 第33-45页 |
| 4.1 背景介绍 | 第33页 |
| 4.2 样品制备与表征 | 第33-34页 |
| 4.3 结果和讨论 | 第34-42页 |
| 4.4 本章小结 | 第42-45页 |
| 第五章 硅薄膜作为锂离子电池负极的研究 | 第45-53页 |
| 5.1 背景介绍 | 第45页 |
| 5.2 薄膜负极的制备 | 第45-48页 |
| 5.3 结果和讨论 | 第48-51页 |
| 5.3.1 恒流充放电测试结果 | 第48-50页 |
| 5.3.2 SEM表征结果 | 第50-51页 |
| 5.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 第六章 总结与展望 | 第53-55页 |
| 6.1 总结 | 第53页 |
| 6.2 展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 作者简介 | 第61页 |