飞秒激光微加工制造太赫兹滤波器件技术研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-23页 |
| 1.1 引言 | 第8-10页 |
| 1.1.1 太赫兹技术空白 | 第8-9页 |
| 1.1.2 太赫兹波的特性及应用 | 第9-10页 |
| 1.2 课题背景及研究现状 | 第10-21页 |
| 1.2.1 太赫兹技术现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 太赫兹功能器件 | 第11-15页 |
| 1.2.3 太赫兹滤波器件 | 第15-19页 |
| 1.2.4 太赫兹滤波器制造研究现状 | 第19-21页 |
| 1.3 研究目的及意义 | 第21-22页 |
| 1.4 论文的主要工作及内容安排 | 第22-23页 |
| 第二章 太赫兹滤波器理论基础 | 第23-31页 |
| 2.1 滤波器概述 | 第23-25页 |
| 2.1.1 滤波器种类 | 第23-24页 |
| 2.1.2 THz带通型滤波器 | 第24-25页 |
| 2.2 FSS | 第25-29页 |
| 2.2.1 FSS简介 | 第25页 |
| 2.2.2 FSS的发展及现状 | 第25-26页 |
| 2.2.3 FSS的应用 | 第26页 |
| 2.2.4 孔径型FSS的滤波原理 | 第26-29页 |
| 2.3 超材料 | 第29-30页 |
| 2.4 小结 | 第30-31页 |
| 第三章 飞秒激光微加工平台搭建及实验 | 第31-47页 |
| 3.1 飞秒激光微加工机理及优点 | 第31-33页 |
| 3.2 飞秒激光微加工平台 | 第33-39页 |
| 3.2.1 系统各个组成部分 | 第34-37页 |
| 3.2.2 飞秒激光微加工平台调试 | 第37-39页 |
| 3.3 铝箔的飞秒激光微加工参数优化 | 第39-46页 |
| 3.3.1 激光能量对铝箔材料去除的影响 | 第40-43页 |
| 3.3.2 扫描速度对加工质量的影响 | 第43-46页 |
| 3.4 小结 | 第46-47页 |
| 第四章 太赫兹带通滤波器仿真设计 | 第47-59页 |
| 4.1 Ansoft HFSS仿真软件简介 | 第47-48页 |
| 4.2 频率选择表面的设计过程 | 第48-49页 |
| 4.3 孔隙单元频率选择表面设计及仿真 | 第49-58页 |
| 4.3.1 圆孔单元正三角形排列 | 第49-55页 |
| 4.3.2 Y型单元正三角形排列 | 第55-57页 |
| 4.3.3 新型的频率选择表面单元 | 第57-58页 |
| 4.4 小结 | 第58-59页 |
| 第五章 太赫兹滤波器及其时域太赫兹光谱 | 第59-69页 |
| 5.1 太赫兹时域光谱系统(THz-TDS) | 第59-61页 |
| 5.2 太赫兹带通滤波器加工实物 | 第61-62页 |
| 5.3 时域太赫兹光谱与HFSS仿真对比 | 第62-68页 |
| 5.3.1 圆孔正三角形排列滤波特性 | 第63-66页 |
| 5.3.2 Y型正三角形排列滤波特性 | 第66-68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 全文总结 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 个人简历及在学期间的研究成果 | 第76页 |
