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厚度及退火温度对Fe-Si-B-P-C非晶薄膜微结构及磁性能的影响

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第11-21页
    1.1 非晶合金的发展史第11-13页
    1.2 磁性非晶合金第13-14页
    1.3 非晶合金薄膜的性能与应用第14-17页
        1.3.1 非晶合金薄膜的性能第14-15页
            1.3.1.1 光滑表面第14页
            1.3.1.2 硬度及电阻率第14-15页
            1.3.1.3 玻璃形成能力第15页
        1.3.2 非晶合金薄膜的应用第15-17页
            1.3.2.1 抗菌-生物应用第15页
            1.3.2.2 对于基体材料疲劳性能的改善第15-16页
            1.3.2.3 柔性块状金属玻璃第16页
            1.3.2.4 微电子和光电应用第16-17页
    1.4 非晶合金薄膜的制备方法及设备第17-21页
        1.4.1 蒸发法第17页
        1.4.2 溅射法-磁控溅射沉积法第17-19页
        1.4.3 电镀法第19-21页
第二章 实验方法第21-27页
    2.1 合金靶材的熔炼第21页
    2.2 磁控溅射及铸态薄膜样品的制备第21-22页
    2.3 非晶薄膜样品的退火处理第22-23页
    2.4 性能表征方法及原理第23-27页
        2.4.1 X射线衍射第23页
        2.4.2 扫描电子显微镜第23-24页
        2.4.3 扫描探针显微镜第24页
        2.4.4 纵向巨磁阻抗比第24-25页
        2.4.5 磁滞回线的测量第25页
        2.4.6 磁光克尔显微镜第25页
        2.4.7 四针法测量薄膜的电阻率第25-27页
第三章 铸态铁基非晶合金薄膜的厚度效应第27-43页
    3.1 引言第27页
    3.2 实验方法第27-28页
    3.3 铸态铁基非晶合金薄膜的厚度效应第28-41页
        3.3.1 铸态铁基非晶合金薄膜的结构与形貌第28-34页
        3.3.2 铸态铁基非晶合金薄膜的磁学性能第34-39页
        3.3.3 铸态铁基非晶合金薄膜的磁畴结构第39-41页
    3.4 本章小结第41-43页
第四章 退火对Fe-Si-B-P-C非晶薄膜结构及磁性能的影响第43-59页
    4.1 引言第43页
    4.2 实验方法第43-44页
    4.3 结果与讨论第44-56页
        4.3.1 退火对铁基非晶合金薄膜结构的影响第44-46页
        4.3.2 退火对铁基非晶合金薄膜磁性能的影响第46-53页
        4.3.3 退火对铁基非晶合金薄膜的磁畴结构及磁各向异性的影响第53-56页
        4.3.4 铁基非晶合金薄膜的力学性能第56页
    4.4 结论第56-59页
第五章 结论和展望第59-61页
    5.1 结论第59-60页
    5.2 展望第60-61页
参考文献第61-67页
致谢第67-69页
个人简历第69-71页
攻读期成果第71页

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