| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1. Introduction | 第12-26页 |
| 1.1. History of Lubrication | 第12-14页 |
| 1.2. Solid Lubricants: Characteristics and Applications | 第14页 |
| 1.3. Tribological Coatings: Development and Recent Trends | 第14-15页 |
| 1.4. Deposition of Nanocomposites Films | 第15-17页 |
| 1.5. Thin Film Deposition Techniques | 第17-18页 |
| 1.6. SPUTTERING AS A DEPOSITION TECHNIQUE | 第18-21页 |
| 1.6.1. Introduction | 第18-19页 |
| 1.6.2. Physical Vapor Deposition Methods | 第19-21页 |
| 1.7. Properties and Application of Silver | 第21-22页 |
| 1.7.1. Transition Metal Silver | 第21-22页 |
| 1.8. Properties and Application of Tantalum | 第22-23页 |
| 1.8.1. Transition Metal Tantalum | 第22-23页 |
| 1.9. Objective and Scope of Work | 第23-26页 |
| 2. EXPERIMENTAL METHODOLOGY | 第26-37页 |
| 2.1. Synthesis Technique | 第26-27页 |
| 2.1.1. Magnetron Sputtering | 第26-27页 |
| 2.2. Characterization Technique | 第27-32页 |
| 2.2.1. Scanning Electron Microscope (SEM) | 第27-28页 |
| 2.2.2. X-ray Diffraction | 第28-29页 |
| 2.2.3. Hardness | 第29页 |
| 2.2.4. Elastic Modulus | 第29-30页 |
| 2.2.5. Friction and wear test | 第30-31页 |
| 2.2.6. Laser confocal microscopy | 第31页 |
| 2.2.7. Raman spectroscopy | 第31-32页 |
| 2.3. Preparation of TaAg Thin Film | 第32-37页 |
| 2.3.1. Substrate Preparation | 第32-35页 |
| 2.3.2. Testing of the Chamber | 第35页 |
| 2.3.3. Gas Flow Control | 第35-36页 |
| 2.3.4. Deposition Parameters | 第36-37页 |
| 3. RESULTS & DISCUSSION | 第37-67页 |
| 3.1. Morphological Analysis | 第37-46页 |
| 3.1.1. Microstructure Analysis | 第37-40页 |
| 3.1.2. Elemental Analysis | 第40-43页 |
| 3.1.3. Cross Section | 第43-46页 |
| 3.2. XRD Measurements of Thin Films | 第46-49页 |
| 3.2.1. The Crystallographic Structure Identification of Ta-Ag Thin Films | 第46-49页 |
| 3.3. Mechanical Properties | 第49-52页 |
| 3.3.1. Hardness | 第49-51页 |
| 3.3.2. Elastic Modulus | 第51-52页 |
| 3.4. Tribological Properties | 第52-64页 |
| 3.4.1. Friction test | 第52-53页 |
| 3.4.2. Effect of silver power and working pressure on the friction test | 第53-55页 |
| 3.4.3. Wear test | 第55-64页 |
| 3.5. Raman spectroscopy | 第64-67页 |
| 4. Conclusions | 第67-69页 |
| Acknowledgements | 第69-70页 |
| References | 第70-77页 |
