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石墨烯电光调制特性及器件研究

摘要第5-7页
abstract第7-9页
第一章 绪论第13-31页
    1.1 本论文工作背景与意义第13-14页
    1.2 基于传统电光材料的光调制器概论第14-17页
        1.2.1 光调制器的工作原理第14页
        1.2.2 传统光调制器的分类及研究动态第14-17页
    1.3 基于石墨烯光调制器的国内外研究现状第17-29页
        1.3.1 吸收型石墨烯光调制器第19-24页
        1.3.2 M-Z型石墨烯电光强度调制器第24-25页
        1.3.3 相位型石墨烯光调制器第25-27页
        1.3.4 环形腔型石墨烯光调制器第27-29页
    1.4 本论文主要研究内容及章节安排第29-31页
第二章 石墨烯的基本性质及应用第31-46页
    2.1 石墨烯的发现第31-33页
    2.2 石墨烯材料的电子能带结构与性质第33-34页
    2.3 石墨烯材料的制备及表征第34-40页
        2.3.1 制备方法第34-35页
        2.3.2 表征方法第35-40页
    2.4 石墨烯的电光特性第40-44页
        2.4.1 石墨烯的光吸收特性第40-41页
        2.4.2 石墨烯电光调制特性第41-44页
    2.5 石墨烯的应用简介第44-45页
    2.6 本章小结第45-46页
第三章 基于石墨烯光调制器的结构设计及仿真第46-85页
    3.1 光波导设计分析方法第46-52页
        3.1.1 有效折射率法第46-47页
        3.1.2 光束传播法第47-50页
        3.1.3 时域有限差分法第50-52页
        3.1.4 有限元法第52页
    3.2 光调制器的主要参数第52-54页
    3.3 集总型石墨烯光调制器第54-76页
        3.3.1 四层石墨烯吸收型光调制器第55-64页
        3.3.2 双层石墨烯相位光调制器第64-69页
        3.3.3 偏振不敏感石墨烯光调制器第69-76页
    3.4 行波型石墨烯光调制器第76-84页
        3.4.1 微带线行波光调制器第76-80页
        3.4.2 共面波导行波光调制器第80-84页
    3.5 本章小结第84-85页
第四章 制备工艺流程制定及加工版图设计第85-105页
    4.1 总体加工实现方案第85-86页
    4.2 石墨烯光调制器结构选定第86-88页
        4.2.1 集总型石墨烯光调制器第86-87页
        4.2.2 石墨烯微带线行波光调制器第87-88页
    4.3 工艺实现流程制定第88-94页
    4.4 加工版图设计第94-104页
        4.4.1 集总型光调制器第95-100页
        4.4.2 行波型光调制器第100-104页
    4.5 本章小结第104-105页
第五章 器件制备和测试第105-129页
    5.1 石墨烯材料的准备和转移第105-108页
    5.2 石墨烯-金属接触第108-112页
        5.2.1 传输线结构设计第108-110页
        5.2.2 实验结果与讨论第110-112页
    5.3 器件制备第112-122页
        5.3.1 基片的准备第112-113页
        5.3.2 光波导刻蚀第113-115页
        5.3.3 光波导开窗口第115-117页
        5.3.4 定义第一层石墨烯图案第117页
        5.3.5 蒸镀第一层金属电极第117-118页
        5.3.6 定义第二层石墨烯图案第118-119页
        5.3.7 蒸镀第二层金属电极第119-120页
        5.3.8 第一层金属电极开窗口第120页
        5.3.9 裂片解理第120-122页
    5.4 测试第122-128页
        5.4.1 集总型调制器波导测试第122-125页
        5.4.2 行波型调制器微波参数测试第125-128页
    5.5 改进方案第128页
    5.6 本章小结第128-129页
第六章 总结及展望第129-133页
    6.1 本论文工作总结第129-131页
    6.2 本论文主要创新点第131页
    6.3 对未来工作展望第131-133页
致谢第133-134页
参考文献第134-145页
攻读博士学位期间取得的成果第145-147页

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