基于坐标测量的石英音叉测头误差分析及标定
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 国内外测头系统的研究分类 | 第10-14页 |
| 1.2.2 微纳米测量测头系统国内外研究现状分析 | 第14-15页 |
| 1.3 课题研究的主要内容 | 第15-16页 |
| 第2章 石英音叉测头工作模式研究 | 第16-29页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 石英音叉测头的基本工作原理 | 第16-20页 |
| 2.2.1 音叉测头的机械结构特性分析 | 第16-18页 |
| 2.2.2 音叉测头的工作原理及力学模型 | 第18-20页 |
| 2.3 石英音叉测头的控制电路原理 | 第20-26页 |
| 2.3.1 音叉测头的电学模型建立 | 第20-22页 |
| 2.3.2 音叉测头的控制电路分析 | 第22-26页 |
| 2.4 石英音叉测头的基本工作模式 | 第26-28页 |
| 2.4.1 轻敲式探针的频率调制模式 | 第26-27页 |
| 2.4.2 频率调制模式下探针的逼近原理 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 石英音叉测头的标定技术研究 | 第29-44页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 音叉测头系统的硬件组成 | 第29-31页 |
| 3.3 音叉测头前置放大信号处理 | 第31-34页 |
| 3.3.1 测头内部微弱信号的提取方法 | 第31-32页 |
| 3.3.2 测头内部寄生电容的补偿实验 | 第32-34页 |
| 3.4 音叉测头的标定 | 第34-43页 |
| 3.4.1 测头的机电耦合系数标定 | 第35-37页 |
| 3.4.2 测头的性能测试 | 第37-40页 |
| 3.4.3 测头的进针实验及灵敏度标定 | 第40-42页 |
| 3.4.4 标准台阶的测量实验 | 第42-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 测头系统的误差影响因素分析及精度评价 | 第44-56页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 音叉测头系统及其测量环境 | 第44-45页 |
| 4.3 测头自身机械结构影响分析 | 第45-46页 |
| 4.4 控制电路静态噪音测试实验 | 第46-47页 |
| 4.5 影响测头性能的环境因素 | 第47-52页 |
| 4.5.1 电磁干扰对测头性能的影响 | 第48-49页 |
| 4.5.2 环境温度对测头性能的影响 | 第49页 |
| 4.5.3 外界振动对测头性能的影响 | 第49-50页 |
| 4.5.4 气流对测头性能的影响 | 第50-52页 |
| 4.6 测头的单点重复性测量实验 | 第52-54页 |
| 4.7 测头系统测量精度评价 | 第54-55页 |
| 4.8 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
