| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 太赫兹检测 | 第9-10页 |
| 1.2.1 直接检测器 | 第9-10页 |
| 1.2.2 外差检测器 | 第10页 |
| 1.3 超导隧道结直接检测器 | 第10-11页 |
| 1.3.1 超导理论 | 第10-11页 |
| 1.3.2 超导直接检测原理 | 第11页 |
| 1.4 论文结构和主要内容 | 第11-13页 |
| 第二章 太赫兹直接检测器的设计 | 第13-19页 |
| 2.1 直接检测器概念 | 第13-15页 |
| 2.1.1 光子检测 | 第13-14页 |
| 2.1.2 视频检测 | 第14-15页 |
| 2.2 直接检测器设计 | 第15-18页 |
| 2.2.1 平面对数周期天线 | 第15-17页 |
| 2.2.2 超导微带线 | 第17页 |
| 2.2.3 超导隧道结结阵 | 第17-18页 |
| 2.2.4 超导直接检测器设计 | 第18页 |
| 2.3 本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 太赫兹直接检测器的制备工艺 | 第19-40页 |
| 3.1 制备工艺简介 | 第19-30页 |
| 3.1.1 光刻 | 第19-24页 |
| 3.1.2 磁控溅射 | 第24-27页 |
| 3.1.3 等离子体增强化学气相沉积 | 第27-29页 |
| 3.1.4 反应离子刻蚀RIE | 第29-30页 |
| 3.2 关键工艺改进 | 第30-31页 |
| 3.2.1 stepper光刻 | 第30页 |
| 3.2.2 斜坡底电极刻蚀 | 第30-31页 |
| 3.3 具体工艺过程 | 第31-39页 |
| 3.3.1 磁控溅射Nb/Al- AlOx/Nb三层结构 | 第32-33页 |
| 3.3.2 制备天线和测试引线 | 第33-36页 |
| 3.3.3 制备隧道结结阵 | 第36-38页 |
| 3.3.4 制备上引线 | 第38-39页 |
| 3.3.5 划片与测试 | 第39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 测试结果与分析 | 第40-44页 |
| 4.1 测量原理 | 第40-41页 |
| 4.2 结果与分析 | 第41-42页 |
| 4.3 本章小结 | 第42-44页 |
| 第五章 论文工作总结与展望 | 第44-45页 |
| 致谢 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-50页 |
| 硕士期间发表的学术论文以及参加的学术会议 | 第50-51页 |