| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 TCO薄膜的概述 | 第11-14页 |
| 1.1.1 TCO薄膜的种类 | 第11-13页 |
| 1.1.2 TCO薄膜的应用 | 第13-14页 |
| 1.2 AZO薄膜的概述 | 第14-19页 |
| 1.2.1 AZO薄膜的特性 | 第14-16页 |
| 1.2.2 AZO薄膜的应用 | 第16-17页 |
| 1.2.3 AZO薄膜的研究进展 | 第17-19页 |
| 1.3 AZO薄膜的常用制备方法 | 第19-21页 |
| 1.3.1 磁控溅射 | 第19页 |
| 1.3.2 金属有机物化学气相沉积 | 第19-20页 |
| 1.3.3 溶胶-凝胶法 | 第20页 |
| 1.3.4 热喷涂法 | 第20页 |
| 1.3.5 分子束外延法 | 第20页 |
| 1.3.6 脉冲激光沉积法 | 第20-21页 |
| 1.4 脉冲激光沉积法 | 第21-24页 |
| 1.4.1 脉冲激光沉积的基本原理 | 第21-22页 |
| 1.4.2 脉冲激光沉积主要影响因素 | 第22-23页 |
| 1.4.3 脉冲激光沉积的优点 | 第23-24页 |
| 1.5 本文研究的主要内容与目的 | 第24-25页 |
| 第二章 实验方法及过程 | 第25-32页 |
| 2.1 实验材料 | 第25-26页 |
| 2.2 实验设备 | 第26-28页 |
| 2.3 实验方案 | 第28-29页 |
| 2.4 薄膜制备工艺过程 | 第29-30页 |
| 2.5 薄膜表征技术 | 第30-32页 |
| 2.5.1 薄膜结构和表面形貌测试 | 第30页 |
| 2.5.2 薄膜光学性能测试 | 第30-31页 |
| 2.5.3 薄膜电学性能测试 | 第31-32页 |
| 第三章 AZO薄膜晶体结构与表面形貌的研究 | 第32-47页 |
| 3.1 衬底温度对AZO薄膜结构和表面形貌的影响 | 第32-39页 |
| 3.1.1 衬底温度对载玻片上沉积的AZO薄膜结构的影响 | 第32-35页 |
| 3.1.2 衬底温度对载玻片上沉积的AZO薄膜表面形貌的影响 | 第35-36页 |
| 3.1.3 衬底温度对在ITO衬底上沉积的AZO薄膜结构的影响 | 第36-38页 |
| 3.1.4 衬底温度对在ITO衬底上沉积的AZO薄膜表面形貌的影响 | 第38-39页 |
| 3.2 氧气分压对AZO薄膜结构和表面形貌的影响 | 第39-46页 |
| 3.2.1 氧气分压对在载玻片上沉积的AZO薄膜结构的影响 | 第39-42页 |
| 3.2.2 氧气分压对在载玻片上沉积的AZO薄膜表面形貌的影响 | 第42-43页 |
| 3.2.3 氧气分压对在ITO衬底上沉积的AZO薄膜结构的影响 | 第43-45页 |
| 3.2.4 氧气分压对在ITO衬底上沉积的AZO薄膜表面形貌的影响 | 第45-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 AZO薄膜光学性能的研究 | 第47-60页 |
| 4.1 衬底温度对AZO薄膜光学性能的影响 | 第47-52页 |
| 4.1.1 衬底温度对载玻片上沉积的AZO薄膜透过率的影响 | 第47-48页 |
| 4.1.2 衬底温度对载玻片上沉积的AZO薄膜禁带宽度的影响 | 第48-50页 |
| 4.1.3 衬底温度对ITO上沉积的AZO薄膜透过率的影响 | 第50-51页 |
| 4.1.4 衬底温度对ITO上沉积的AZO薄膜禁带宽度的影响 | 第51-52页 |
| 4.2 氧气分压对AZO薄膜光学性能的影响 | 第52-55页 |
| 4.2.1 氧气分压对载玻片上沉积的AZO薄膜透过率的影响 | 第52-53页 |
| 4.2.2 氧气分压对载玻片上沉积的AZO薄膜禁带宽度的影响 | 第53-54页 |
| 4.2.3 氧气分压对ITO上沉积的AZO薄膜透过率的影响 | 第54-55页 |
| 4.2.4 氧气分压对ITO上沉积的AZO薄膜禁带宽度的影响 | 第55页 |
| 4.3 外界温度对AZO薄膜光学性能的影响 | 第55-59页 |
| 4.3.1 外界温度对AZO薄膜透过率的影响 | 第56页 |
| 4.3.2 外界温度对AZO薄膜禁带宽度的影响 | 第56-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 AZO薄膜电学性能的研究 | 第60-66页 |
| 5.1 衬底温度对AZO薄膜电学性能的影响 | 第60-62页 |
| 5.1.1 衬底温度对AZO薄膜电阻率和品质因子的影响 | 第60-62页 |
| 5.1.2 衬底温度对AZO薄膜Ⅰ-Ⅴ曲线的影响 | 第62页 |
| 5.2 氧气分压对AZO薄膜电学性能的影响 | 第62-64页 |
| 5.2.1 氧气分压对AZO薄膜电阻率和品质因子的影响 | 第63-64页 |
| 5.2.2 氧气分压对AZO薄膜Ⅰ-Ⅴ曲线的影响 | 第64页 |
| 5.3 光照对AZO薄膜Ⅰ-Ⅴ曲线的影响 | 第64-65页 |
| 5.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 全文总结 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第74页 |
