| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| Chapter 1 Introduction | 第11-23页 |
| 1.1 Secondary Electrons in Scanning Electron Microscope | 第11-17页 |
| 1.1.1 Basic Principle | 第11-14页 |
| 1.1.2 Experimental Observation of Secondary Electron Generation: | 第14-17页 |
| 1.2 Simulation of Secondary Electron Emission | 第17-23页 |
| 1.2.1 Electron Solid Interaction Overview | 第17页 |
| 1.2.2 Secondary Electrons(SE) | 第17-18页 |
| 1.2.3 Backscattered Electrons(BSE) | 第18-19页 |
| 1.2.4 Auger Electrons(AE) | 第19-20页 |
| 1.2.5 Elastic Peak Electrons(PE) | 第20-23页 |
| Chapter 2 Monte Carlo Simulation of Secondary Electrons | 第23-39页 |
| 2.1 Theoretical Basis for Secondary Electron Simulation | 第23-35页 |
| 2.1.1 Elastic Scattering of Electrons | 第23-30页 |
| 2.1.2 Inelastic Scattering of Electrons | 第30-34页 |
| 2.1.3 Secondary Electron Cascade Process | 第34-35页 |
| 2.2 Stepwise Method of Monte Carlo Simulation | 第35-39页 |
| 2.2.1 Sampling Methods and Simulation Steps | 第36-39页 |
| Chapter 3 Geometric Representation | 第39-51页 |
| 3.1 Finite Triangular Mesh | 第39-40页 |
| 3.2 Space Subdivision Method | 第40-42页 |
| 3.3 Construction of Structure in Gmsh | 第42-45页 |
| 3.3.1 Geometry Module | 第42-44页 |
| 3.3.2 Mesh Modules | 第44-45页 |
| 3.3.3 Solver Module | 第45页 |
| 3.3.4 Post Processing Module | 第45页 |
| 3.4 Geometrical Representation of Wave-type Structure | 第45-48页 |
| 3.5 Correlation Correction Algorithm | 第48-51页 |
| 3.4.1 Boundary Correction | 第48-51页 |
| Chapter 4 Secondary Electron Emission from Wave-Type Structure | 第51-69页 |
| 4.1 Numerical calculation of simulation method and parallel computing | 第52-54页 |
| 4.2 Simulation of SEM Images | 第54-55页 |
| 4.3 Determining Nano-Meter Line-Width in CD-SEM | 第55-61页 |
| 4.4 SE Line Profile from Wave-Type Structure | 第61-69页 |
| Chapter 5 Summary and Prospects | 第69-71页 |
| References | 第71-81页 |
| Acknowledgement | 第81-83页 |
| Publications | 第83页 |
