| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 介质薄膜 | 第9-15页 |
| 1.1.1 介质薄膜体系 | 第9-12页 |
| 1.1.2 介质薄膜的制备方法 | 第12-15页 |
| 1.2 介质薄膜的发展趋势 | 第15-20页 |
| 1.3 本论文的目的、意义与研究内容 | 第20-23页 |
| 第2章 实验方法 | 第23-35页 |
| 2.1 实验原料与设备 | 第23-24页 |
| 2.2 Ba(Mg1/3Ta2/3)O3前驱体溶液的制备 | 第24-26页 |
| 2.2.1 过氧化柠檬酸钽(P-Ta-CA)溶液的制备 | 第24-26页 |
| 2.2.2 Ba(Mg1/3Ta2/3)O3前驱体溶液的制备 | 第26页 |
| 2.3 PZT前驱体溶胶的制备 | 第26-28页 |
| 2.4 薄膜的制备 | 第28-32页 |
| 2.4.1 基片的选择与清洗 | 第28-29页 |
| 2.4.2 薄膜制备的工艺流程 | 第29-31页 |
| 2.4.3 BMTa/PZT复合薄膜的结构设计与制备 | 第31-32页 |
| 2.5 薄膜结构与性能的表征方法 | 第32-35页 |
| 2.5.1 热分析（Thermal Analysis，TA） | 第32页 |
| 2.5.2 X射线衍射(X-Ray Diffraction) | 第32-33页 |
| 2.5.3 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope) | 第33页 |
| 2.5.4 原子力显微镜（AFM） | 第33页 |
| 2.5.5 铁电性能测试 | 第33页 |
| 2.5.6 介电性能测试 | 第33-35页 |
| 第3章 PZT、P/B型薄膜的结构和性能研究 | 第35-53页 |
| 3.1 退火温度对PZT薄膜的影响 | 第35-41页 |
| 3.1.1 退火温度对PZT薄膜相结构的影响 | 第35-36页 |
| 3.1.2 退火温度对PZT薄膜形貌的影响 | 第36-39页 |
| 3.1.3 退火温度对PZT薄膜性能的影响 | 第39-41页 |
| 3.2 薄膜厚度对PZT薄膜的影响 | 第41-45页 |
| 3.2.1 薄膜厚度对PZT薄膜相结构的影响 | 第41-42页 |
| 3.2.2 薄膜厚度对PZT薄膜形貌的影响 | 第42页 |
| 3.2.3 薄膜厚度对PZT薄膜性能的影响 | 第42-45页 |
| 3.3 BMTa薄膜厚度对P/B型复合薄膜的影响 | 第45-53页 |
| 3.3.1 BMTa薄膜厚度对P/B型复合薄膜相结构的影响 | 第45-46页 |
| 3.3.2 BMTa薄膜厚度对P/B型复合薄膜形貌的影响 | 第46-48页 |
| 3.3.3 BMTa薄膜厚度对P/B型复合薄膜性能的影响 | 第48-49页 |
| 3.3.4 BMTa薄膜厚度对P/B型复合薄膜漏电流的影响 | 第49-53页 |
| 第4章 BMTa、B/P型薄膜的结构与性能研究 | 第53-60页 |
| 4.1 薄膜厚度对BMTa薄膜的影响 | 第53-55页 |
| 4.1.1 薄膜厚度对BMTa薄膜相结构的影响 | 第53-54页 |
| 4.1.2 薄膜厚度对BMTa薄膜形貌的影响 | 第54页 |
| 4.1.3 薄膜厚度对BMTa薄膜介电性能的影响 | 第54-55页 |
| 4.2 PZT薄膜厚度对B/P型复合薄膜的影响 | 第55-60页 |
| 4.2.1 PZT薄膜厚度对B/P型复合薄膜相结构的影响 | 第55-56页 |
| 4.2.2 PZT薄膜厚度对B/P型复合薄膜形貌的影响 | 第56-58页 |
| 4.2.3 PZT薄膜厚度对B/P型复合薄膜性能的影响 | 第58-60页 |
| 第5章 结论 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 硕士期间发表论文 | 第68页 |
