| 摘要 | 第8-10页 |
| Abstract | 第10-11页 |
| 符号说明及名词解释 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-17页 |
| 1.1 金属氧化物电导气敏特性研究的历史和现状 | 第13-14页 |
| 1.2 气敏元件的技术改造 | 第14-15页 |
| 1.3 关于Fe_2O_3电导气敏薄膜元件 | 第15-16页 |
| 1.4 本文的主要工作以及论文内容 | 第16-17页 |
| 第二章 金属氧化物电导气敏特性基础知识 | 第17-27页 |
| 2.1 金属氧化物电子结构 | 第17-19页 |
| 2.2 n型和p型气敏金属氧化物特性 | 第19-20页 |
| 2.3 n型金属氧化物的三种气敏机理和功能 | 第20-21页 |
| 2.4 显微结构 | 第21-22页 |
| 2.5 空间电荷层和气敏电流的传感机理 | 第22-27页 |
| 第三章 Fe_2O_3电导气敏薄膜元件的制造工艺 | 第27-33页 |
| 3.1 芯片结构设计 | 第27-28页 |
| 3.2 工艺流程方块图 | 第28-30页 |
| 3.3 工艺流程示意图 | 第30-31页 |
| 3.4 关键工艺阐述 | 第31-33页 |
| 第四章 Fe_2O_3电导气敏薄膜元件的气敏特性测试 | 第33-43页 |
| 4.1 测试方法和装置 | 第33-34页 |
| 4.2 闭室测试和针孔注入法中的配气 | 第34-41页 |
| 4.3 气敏特性曲线 | 第41-42页 |
| 4.4 Fe_2O_3电导气敏薄膜元件热特性和酒敏特性测试 | 第42-43页 |
| 第五章 总结和展望 | 第43-46页 |
| 5.1 总结 | 第43-44页 |
| 5.2 展望 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第50页 |