混合型干涉仪的基本原理和实验研究
摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4页 |
第一章 绪论 | 第7-11页 |
1.1 激光干涉测量技术的研究意义 | 第7-8页 |
1.2 激光干涉测量技术及其研究进展 | 第8-9页 |
1.2.1 激光自混合干涉测量技术 | 第8页 |
1.2.2 F-P干涉测量技术 | 第8-9页 |
1.3 课题来源及研究意义 | 第9页 |
1.4 主要研究内容 | 第9-11页 |
第二章 两种干涉的基本理论和实验研究 | 第11-29页 |
2.1 自混合干涉 | 第11-22页 |
2.1.1 激光自混合干涉的理论模型 | 第11-14页 |
2.1.2 激光自混合的干涉仿真 | 第14-16页 |
2.1.3 激光自混合的干涉现象定性的观察 | 第16-17页 |
2.1.4 激光自混合干涉的定量观察 | 第17-18页 |
2.1.5 PI公司一维PZT | 第18-21页 |
2.1.6 定量观测的实验结果 | 第21-22页 |
2.2 F-P干涉 | 第22-28页 |
2.2.1 F-P干涉原理 | 第23-24页 |
2.2.2 F-P干涉的仿真 | 第24-26页 |
2.2.3 激光F-P干涉的实验与分析 | 第26-28页 |
2.3 本章小结 | 第28-29页 |
第三章 基于F-P腔强度解调的微位移传感器 | 第29-37页 |
3.1 基于法珀干涉仪强度解调微小位移测量原理 | 第29-31页 |
3.1.1 测量原理 | 第29-30页 |
3.1.2 一次谐波锁定腔长的理论分析 | 第30-31页 |
3.2 实验装置与软件程序 | 第31-34页 |
3.3 实验与讨论 | 第34-36页 |
3.4 本章小结 | 第36-37页 |
第四章 混合型干涉仪的原理分析和光路设计 | 第37-49页 |
4.1 光学干涉简介 | 第37-38页 |
4.2 两种自由空间的光学干涉仪 | 第38-39页 |
4.3 光纤光路的干涉系统设计 | 第39-40页 |
4.4 PZT锁定的F-P腔腔长的实验研究 | 第40-44页 |
4.4.1 实验系统原理图 | 第40-41页 |
4.4.2 寻找静态工作点Q | 第41-42页 |
4.4.3 实验结果及分析 | 第42-44页 |
4.5 混合型干涉仪的系统及原理简介 | 第44-48页 |
4.5.1 实验系统原理图 | 第44-45页 |
4.5.2 实验的结果 | 第45-48页 |
4.5.3 混合型干涉仪的两种工作状态 | 第48页 |
4.6 本章小结 | 第48-49页 |
结束语 | 第49-50页 |
附录 | 第50-53页 |
参考文献 | 第53-57页 |
在读期间发表的论文 | 第57-58页 |
致谢 | 第58页 |