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化学刻蚀法制备硅纳米线的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 绪论第9-21页
   ·太阳能电池的发展概况第9-12页
     ·太阳能概述第9-10页
     ·太阳能电池的原理和发展现状第10-12页
   ·硅太阳能电池和陷光结构第12-17页
     ·硅太阳能电池概述第12-13页
     ·硅太阳能电池的陷光结构第13-16页
     ·单晶硅太阳能电池的金字塔绒面结构第16-17页
   ·硅纳米线太阳能电池概述第17-19页
     ·纳米科学与纳米材料第17-18页
     ·纳米线结构第18-19页
     ·硅纳米线太阳能电池第19页
 本章小结第19-20页
   ·本论文的主要研究内容第20-21页
2 硅纳米线的特性、发展与应用第21-26页
   ·硅纳米线的特殊物理性质第21-23页
     ·场发射特性第21-22页
     ·电子输运特性第22页
     ·光学特性第22页
     ·其他特性第22-23页
   ·硅纳米线的发展和应用第23-25页
     ·硅纳米线二极管、三极管和场效应晶体管(FET)第23-24页
     ·硅纳米线传感器第24页
     ·硅纳米线太阳能电池第24-25页
 本章小结第25-26页
3 硅纳米线太阳能电池的制备方法第26-32页
   ·一维硅纳米线的制备方法第26-31页
     ·激光烧蚀法(激光蒸发法)第26-27页
     ·化学气相沉积(CVD)法第27-28页
     ·氧化物辅助生长法第28-29页
     ·模板法第29-30页
     ·化学腐蚀法第30页
     ·其他制备硅纳米线的方法第30-31页
 本章小结第31-32页
4. 一维硅纳米线的表征手段第32-36页
   ·扫描电子显微镜(SEM)第32-33页
   ·原子力显微镜(AFM)第33页
   ·拉曼光谱第33-34页
   ·X射线衍射(XRD)第34页
   ·光致发光(PL)光谱第34-35页
 本章小结第35-36页
5. 化学腐蚀法制备硅纳米线第36-46页
   ·化学腐蚀法制备硅纳米线第36-37页
     ·硅片的预处理第36页
     ·用HF/Fe(NO_3)_3腐蚀溶液制备硅纳米线第36-37页
   ·用SEM对样品进行表征第37页
   ·分析和讨论第37-45页
     ·化学腐蚀方法制备硅纳米线的生长机理第37-39页
     ·采用硝酸铁腐蚀溶液制备硅纳米线的形貌第39页
     ·采用硝酸铁与硝酸银腐蚀溶液制备硅纳米线的形貌对比第39-41页
     ·采用硝酸铁腐蚀溶液制备硅纳米线最佳条件的确定第41-44页
     ·硅纳米线的反射率与腐蚀时间的关系第44-45页
 本章小结第45-46页
结论第46-47页
参考文献第47-51页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第51-52页
致谢第52-53页

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