| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 计算全息技术在微纳加工中的研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2 飞秒激光矢量场的研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 实验加工系统 | 第20-31页 |
| 2.1 系统及主要仪器组成 | 第20-28页 |
| 2.1.1 光源 | 第21页 |
| 2.1.2 传输部分 | 第21-23页 |
| 2.1.3 空间光调制器 | 第23-26页 |
| 2.1.4 显微镜及监控系统 | 第26-27页 |
| 2.1.5 三维移动平台 | 第27-28页 |
| 2.2 计算全息算法 | 第28-31页 |
| 第三章 飞秒激光全息加工中的零级光抑制 | 第31-48页 |
| 3.1 像素化SLM的光学特性 | 第31-34页 |
| 3.2 优化全息图的方法 | 第34-40页 |
| 3.2.1 加载数字闪耀光栅 | 第34-36页 |
| 3.2.2 消除零级光 | 第36-40页 |
| 3.3 实验结果与分析 | 第40-48页 |
| 3.3.1 成像实验 | 第41-44页 |
| 3.3.2 加工实验 | 第44-48页 |
| 第四章 矢量光束的生成及高数值孔径聚焦特性理论分析 | 第48-68页 |
| 4.1 光束生成系统 | 第48-50页 |
| 4.2 矢量德拜衍射理论 | 第50-63页 |
| 4.2.1 高数值孔径物镜的影响 | 第50-56页 |
| 4.2.2 德拜近似 | 第56-58页 |
| 4.2.3 圆形透镜的德拜积分 | 第58-59页 |
| 4.2.4 矢量德拜积分 | 第59-63页 |
| 4.3 矢量光束高数值孔径聚焦特性仿真实验 | 第63-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 5.1 论文的主要研究成果 | 第68页 |
| 5.2 展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 攻读学位期间发表的学位论文 | 第76页 |