| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 本论文研究的目的和意义 | 第13-19页 |
| 1.2 分布式MEMS移相器的研究现状 | 第19-23页 |
| 1.3 论文主要工作和结构安排 | 第23-25页 |
| 1.3.1 论文的主要工作 | 第23-24页 |
| 1.3.2 论文的结构安排 | 第24-25页 |
| 第2章 DMTL移相器的理论分析和设计 | 第25-37页 |
| 2.1 DMTL移相器的工作原理 | 第25-27页 |
| 2.2 CPW传输线理论 | 第27-28页 |
| 2.3 设计指标要求 | 第28-29页 |
| 2.4 CPW传输线设计 | 第29-30页 |
| 2.5 DMTL移相器单元结构的设计 | 第30-35页 |
| 2.5.1 布拉格频率的选择 | 第30页 |
| 2.5.2 DMTL移相器电学参数的计算 | 第30-32页 |
| 2.5.3 DMTL移相器结构参数的计算 | 第32-33页 |
| 2.5.4 驱动电压的理论计算 | 第33-35页 |
| 2.6 DMTL移相器设计流程及整体结构 | 第35-36页 |
| 2.7 本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 DMTL移相器仿真与优化 | 第37-52页 |
| 3.1 CPW传输线仿真 | 第37-39页 |
| 3.2 DMTL移相器单元结构的S参数仿真 | 第39-44页 |
| 3.3 DMTL移相器的等效级联电路仿真 | 第44-49页 |
| 3.3.1 DMTL移相器的集总参数模型 | 第45-46页 |
| 3.3.2 DMTL移相器的等效级联电路S参数仿真 | 第46-48页 |
| 3.3.3 DMTL移相器的等效级联电路移相度数及误差仿真 | 第48-49页 |
| 3.4 DMTL移相器的开启应力及响应时间仿真 | 第49-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 DMTL移相器的制作 | 第52-71页 |
| 4.1 DMTL移相器工艺设计流程 | 第52-56页 |
| 4.2 DMTL移相器版图设计 | 第56-58页 |
| 4.3 DMTL移相器的工艺实现 | 第58-67页 |
| 4.4 DMTL移相器的测试 | 第67-70页 |
| 4.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第79页 |