| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 主要符号表 | 第13-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-29页 |
| 1.1 MEMS技术 | 第16-17页 |
| 1.2 微泵、微型压缩机与微型阀 | 第17-27页 |
| 1.2.1 微泵的研究现状 | 第18-19页 |
| 1.2.2 静电微泵的研究现状 | 第19-24页 |
| 1.2.3 微型阀 | 第24-27页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第27-29页 |
| 1.3.1 静电驱动柔性振膜微泵的理论分析 | 第27-28页 |
| 1.3.2 静电驱动柔性振膜微泵的加工与封装工艺 | 第28页 |
| 1.3.3 静电驱动柔性振膜微泵的实验研究 | 第28-29页 |
| 第二章 静电驱动柔性振膜微泵的理论分析 | 第29-55页 |
| 2.1 静电驱动柔性振膜微泵的结构与运行模式 | 第29-31页 |
| 2.1.1 静电驱动柔性振膜微泵的结构 | 第29-30页 |
| 2.1.2 静电驱动柔性振膜微泵的运行模式 | 第30-31页 |
| 2.2 静电驱动柔性振膜微泵的理论分析模型 | 第31-43页 |
| 2.2.1 基本假设 | 第31-32页 |
| 2.2.2 均匀压力作用下的圆薄膜大变形半解析解 | 第32-38页 |
| 2.2.3 最小能量法 | 第38-43页 |
| 2.3 计算结果分析 | 第43-53页 |
| 2.3.1 单腔微泵计算结果分析 | 第44-48页 |
| 2.3.2 双腔微泵计算结果分析 | 第48-51页 |
| 2.3.3 中心凸起型腔体的讨论 | 第51-53页 |
| 2.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第三章 静电驱动柔性微型阀对微泵输出性能的影响 | 第55-73页 |
| 3.1 静电驱动柔性微型阀的结构与运行模式 | 第55-58页 |
| 3.1.1 静电驱动柔性微型阀的运行模式 | 第56-57页 |
| 3.1.2 静电驱动柔性微型阀的控制电压对微泵输出特性的影响 | 第57-58页 |
| 3.2 静电驱动柔性微型阀的影响分析 | 第58-66页 |
| 3.2.1 微型阀容积对微泵压升性能的影响 | 第60-62页 |
| 3.2.2 排气微型阀的流动阻力 | 第62-63页 |
| 3.2.3 微型阀容积对微泵最大容积效率的影响 | 第63-65页 |
| 3.2.4 排气微型阀的理论临界关阀电压 | 第65-66页 |
| 3.3 计算结果分析 | 第66-71页 |
| 3.3.1 微型阀容积对微泵压升性能的影响 | 第66-68页 |
| 3.3.2 排气微型阀的流动阻力 | 第68-70页 |
| 3.3.3 微型阀容积对微泵最大容积效率的影响 | 第70页 |
| 3.3.4 排气微型阀的理论临界关阀电压 | 第70-71页 |
| 3.4 本章小结 | 第71-73页 |
| 第四章 串流对静电驱动柔性振膜微泵性能的影响 | 第73-89页 |
| 4.1 串流结构在小型三角转子压缩机中的应用 | 第73-74页 |
| 4.2 具有串流结构的静电驱动柔性振膜微泵的结构与运行模式 | 第74-83页 |
| 4.2.1 结构设计 | 第74-76页 |
| 4.2.2 运行模式与驱动电压控制 | 第76-83页 |
| 4.3 串流对静电驱动柔性振膜微泵性能的影响 | 第83-87页 |
| 4.3.1 串流对微泵压升性能的影响 | 第83-86页 |
| 4.3.2 串流对微泵容积效率的影响 | 第86-87页 |
| 4.4 本章小结 | 第87-89页 |
| 第五章 静电驱动柔性振膜微泵的制作与封装工艺研究 | 第89-108页 |
| 5.1 静电驱动柔性振膜微泵各部件的改进 | 第89页 |
| 5.2 腔体基片的加工工艺 | 第89-97页 |
| 5.2.1 基片准备 | 第91页 |
| 5.2.2 微型阀结构图形化 | 第91页 |
| 5.2.3 金属标记的制作 | 第91-92页 |
| 5.2.4 基片上微型阀阀体结构的制作 | 第92页 |
| 5.2.5 腔体车削成型及机械抛光 | 第92-96页 |
| 5.2.6 腔体表面介电层的制作 | 第96页 |
| 5.2.7 切片 | 第96页 |
| 5.2.8 介电层击穿电压检测 | 第96-97页 |
| 5.3 振膜的加工工艺 | 第97-99页 |
| 5.4 静电驱动柔性振膜微泵的键合工艺 | 第99-106页 |
| 5.4.1 微泵本体的键合 | 第99-102页 |
| 5.4.2 微泵外围围护结构和微通道换热器的封装 | 第102-106页 |
| 5.5 本章小结 | 第106-108页 |
| 第六章 静电驱动柔性振膜微泵的实验研究 | 第108-128页 |
| 6.1 静电驱动柔性振膜吸合观测实验 | 第108-116页 |
| 6.1.1 静电吸合观测实验台的搭建 | 第109页 |
| 6.1.2 非对称吸合的完全吸合电压预测 | 第109-111页 |
| 6.1.3 观测结果分析 | 第111-116页 |
| 6.2 静电驱动柔性振膜微泵性能实验 | 第116-127页 |
| 6.2.1 微泵性能测试实验台的搭建与密封性能检测 | 第116-118页 |
| 6.2.2 实验测量物理量与误差分析 | 第118-119页 |
| 6.2.3 实验结果分析 | 第119-127页 |
| 6.3 本章小结 | 第127-128页 |
| 第七章 总结与展望 | 第128-132页 |
| 7.1 本文工作总结 | 第128-130页 |
| 7.2 本文主要创新点 | 第130-131页 |
| 7.3 研究展望 | 第131-132页 |
| 参考文献 | 第132-139页 |
| 致谢 | 第139-140页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第140页 |
