| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 研究的目的与意义 | 第9-10页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第12-13页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 双质量硅微陀螺仪的基本理论 | 第15-29页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 质量硅微陀螺仪的工作原理 | 第15-18页 |
| 2.2.1 质量硅微陀螺仪的基本结构 | 第15-16页 |
| 2.2.2 科氏效应 | 第16-18页 |
| 2.3 质量硅微陀螺仪的动力学原理分析 | 第18-22页 |
| 2.3.1 双质量硅微陀螺仪的振型分析 | 第18-20页 |
| 2.3.2 质量硅微陀螺仪的运动方程 | 第20-22页 |
| 2.4 阻尼分析 | 第22-25页 |
| 2.4.1 气体分子的平均自由程与气体的粘度系数 | 第22-23页 |
| 2.4.2 滑膜阻尼 | 第23-24页 |
| 2.4.3 压膜阻尼 | 第24-25页 |
| 2.5 静电驱动和电容差分检测原理分析 | 第25-26页 |
| 2.5.1 静电驱动原理 | 第25-26页 |
| 2.5.2 差分检测原理 | 第26页 |
| 2.6 正交校正原理分析 | 第26-28页 |
| 2.7 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 结构优化设计与仿真分析 | 第29-43页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 双质量硅微陀螺仪整体结构的设计 | 第29-30页 |
| 3.3 结构优化设计 | 第30-35页 |
| 3.3.1 检测框架的转动效应的优化设计 | 第30-34页 |
| 3.3.2 中间质量块的转动效应的优化设计 | 第34-35页 |
| 3.4 基于音叉效应的双质量结构设计 | 第35-37页 |
| 3.5 有限元仿真与优化 | 第37-42页 |
| 3.5.1 模态仿真 | 第37-40页 |
| 3.5.2 热应力分析 | 第40页 |
| 3.5.3 谐响应仿真 | 第40-41页 |
| 3.5.4 瞬态冲击仿真 | 第41-42页 |
| 3.5.5 正交校正梳齿的强度校正仿真 | 第42页 |
| 3.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 双质量硅微陀螺仪的误差分析 | 第43-57页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 双质量硅微陀螺仪原理性误差分析 | 第43页 |
| 4.3 结构设计误差 | 第43-46页 |
| 4.4 加工误差 | 第46-52页 |
| 4.4.1 加工误差引起的耦合误差 | 第46-47页 |
| 4.4.2 加工误差引起的结构尺寸误差 | 第47-52页 |
| 4.5 温度误差 | 第52-56页 |
| 4.5.1 温度对结构弹性模量及粘度系数的影响 | 第53页 |
| 4.5.2 结构弹性模量及粘度系数对结构性能参数的影响 | 第53-56页 |
| 4.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 双质量硅微陀螺仪的加工及测试 | 第57-67页 |
| 5.1 引言 | 第57页 |
| 5.2 质量硅微陀螺仪的加工 | 第57-58页 |
| 5.3 双质量硅微陀螺仪的封装 | 第58-59页 |
| 5.4 质量硅微陀螺仪的性能测试 | 第59-65页 |
| 5.4.1 质量结构的振型及品质因素测试 | 第59-61页 |
| 5.4.2 双质量结构的标度因素及其非线性度特性测试 | 第61-62页 |
| 5.4.3 双质量结构的零偏及其稳定性 | 第62-63页 |
| 5.4.4 质量结构的阈值特性测试 | 第63-64页 |
| 5.4.5 质量结构的分辨率特性测试 | 第64页 |
| 5.4.6 正交校正梳齿的校正能力测试 | 第64页 |
| 5.4.7 双质量结构的温度特性测试 | 第64-65页 |
| 5.5 本章小结 | 第65-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 总结 | 第67页 |
| 6.2 展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第73页 |
| 发表论文 | 第73页 |
| 申请专利 | 第73页 |