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无定形BIT基阻变存储器的电阻转变特性及γ射线总剂量效应研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-25页
    1.1 半导体存储器第9-12页
        1.1.1 传统浮栅式存储器第9-10页
        1.1.2 新型非易失性存储器第10-12页
    1.2 辐射效应第12-16页
        1.2.1 空间辐射环境第12-13页
        1.2.2 辐射源种类及其与材料的相互作用第13-15页
        1.2.3 电离辐射效应第15-16页
    1.3 阻变存储器及其辐射效应研究现状第16-23页
        1.3.1 阻变存储器简介第16-17页
        1.3.2 阻变机制与阻变材料第17-20页
        1.3.3 阻变存储器辐射效应研究现状第20-23页
    1.4 本论文的选题依据和主要研究内容第23-25页
第2章 BIT薄膜的漏电流特性第25-35页
    2.1 引言第25-26页
    2.2 BIT薄膜的制备第26-29页
        2.2.1 常用薄膜制备方法第26页
        2.2.2 BIT薄膜的制备工艺第26-29页
    2.3 BIT薄膜的微观结构表征第29-31页
        2.3.1 微观结构表征方法第29页
        2.3.2 BIT薄膜的微观结构第29-31页
    2.4 BIT薄膜的漏电流特性第31-34页
        2.4.1 电学特性测试方法第31页
        2.4.2 BIT薄膜的漏电流特性第31-34页
    2.5 小结第34-35页
第3章 BIT基阻变存储器的电阻转变特性第35-46页
    3.1 引言第35页
    3.2 BIT薄膜结晶度对Pt/BIT/Pt阻变器件电阻转变特性的影响第35-39页
        3.2.1 不同BIT薄膜结晶度Pt/BIT/Pt阻变器件的电阻转变特性第35-37页
        3.2.2 不同BIT薄膜结晶度Pt/BIT/Pt阻变器件的电阻转变机理第37-39页
    3.3 Nd掺杂对α-BIT基阻变器件电阻转变特性的影响第39-41页
        3.3.1 Nd掺杂α-BIT薄膜的微观结构第39页
        3.3.2 Pt/α-BIT/Pt和Pt/α-BNT/Pt器件的电阻转变特性第39-41页
    3.4 电极活性对α-BNT基阻变器件电阻转变特性的影响第41-45页
        3.4.1 Ag/α-BNT/Pt阻变器件的电阻转变特性第41-42页
        3.4.2 Ag/α-BNT/Pt阻变器件的电阻转变机理第42-45页
    3.5 小结第45-46页
第4章 Ag/α-BNT/Pt阻变器件的γ射线总剂量效应第46-54页
    4.1 引言第46页
    4.2 辐照试验设计第46-48页
        4.2.1 辐射源选择第46-47页
        4.2.2 ~(60)Coγ射线辐照试验设计第47-48页
    4.3 γ射线辐照对Ag/α-BNT/Pt器件阻变特性的影响第48-52页
        4.3.1 γ射线辐照对Ag/α-BNT/Pt器件存储状态的影响第48-49页
        4.3.2 γ辐射辐照对Ag/α-BNT/Pt器件操作电压的影响第49-51页
        4.3.3 γ辐射辐照对Ag/α-BNT/Pt器件综合性能的影响第51-52页
    4.4 Ag/α-BNT/Pt器件的电离辐射损伤机制第52页
    4.5 小结第52-54页
第5章 总结与展望第54-56页
    5.1 论文总结第54-55页
    5.2 研究展望第55-56页
参考文献第56-63页
致谢第63-64页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第64页

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