| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 MEMS概念 | 第9-11页 |
| 1.2 MEMS的发展史 | 第11-13页 |
| 1.2.1 MEMS的初级发展阶段 | 第11-12页 |
| 1.2.2 MEMS的中级发展阶段 | 第12-13页 |
| 1.2.3 MEMS的高级发展阶段 | 第13页 |
| 1.3 MEMS的特征和存在的问题 | 第13-16页 |
| 1.3.1 MEMS的特征 | 第13页 |
| 1.3.2 MEMS存在的问题 | 第13-16页 |
| 1.4 本文研究对象MEMS开关的发展历程及其相关理论研究现状 | 第16-19页 |
| 1.4.1 MEMS开关的发展现状 | 第16-17页 |
| 1.4.2 MEMS开关的微振动力学性能研究现状 | 第17-19页 |
| 1.5 论文内容安排 | 第19-21页 |
| 2 基础理论框架 | 第21-34页 |
| 2.1 哈密顿原理 | 第21-23页 |
| 2.1.1 哈密顿原理的数学模型 | 第21页 |
| 2.1.2 哈密顿原理的数学模型范例 | 第21-23页 |
| 2.2 正则摄动法 | 第23-25页 |
| 2.2.1 正则摄动法 | 第23-25页 |
| 2.3 时域DQ法 | 第25-34页 |
| 2.3.1 DQ法基本原理 | 第26页 |
| 2.3.2 DQ法的插值基函数 | 第26-28页 |
| 2.3.3 边界条件融入控制方程 | 第28-29页 |
| 2.3.4 时域DQ法基本原理 | 第29-31页 |
| 2.3.5 初始—边界条件融入控制方程 | 第31-33页 |
| 2.3.6 已知节点的选取 | 第33-34页 |
| 3 多非线性耦合控制方程的推导与定解条件的确定 | 第34-55页 |
| 3.1 控制方程和边界条件的推导 | 第34-55页 |
| 3.1.1 应变能Φ | 第34-36页 |
| 3.1.2 动能T | 第36-37页 |
| 3.1.3 静电力作功P | 第37页 |
| 3.1.4 采用哈密顿原理推导控制方程 | 第37-45页 |
| 3.1.5 控制方程和初始—边界条件的摄动 | 第45-55页 |
| 4 时域DQ法分析多非线性耦合变截面微悬臂梁开关的动力响应 | 第55-72页 |
| 4.1 运用时域DQ法求解方程 | 第55-62页 |
| 4.1.1 求解一阶摄动方程 | 第55-57页 |
| 4.1.2 求解二阶摄动方程 | 第57-59页 |
| 4.1.3 求解三阶摄动方程 | 第59-62页 |
| 4.2 数值结果分析 | 第62-72页 |
| 4.2.1 时域DQ法准确性和适用性验证分析 | 第63-65页 |
| 4.2.2 多非线性耦合变截面微悬臂梁动力响应算例分析 | 第65-72页 |
| 5 论文总结 | 第72-74页 |
| 5.1 结论 | 第72-73页 |
| 5.2 本文的意义、价值及创新点 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文及科研成果 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
