| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 精密定位技术 | 第10页 |
| 1.2 精密定位技术研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 微行程精密定位技术研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 大行程精密定位技术研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3 论文的研究内容及组织结构 | 第15-17页 |
| 第二章 XY向纳米位移台机械结构设计 | 第17-29页 |
| 2.1 XY向纳米位移台机械结构总体设计 | 第17-20页 |
| 2.1.1 潘式压电马达步进原理 | 第17-18页 |
| 2.1.2 XY向纳米位移台机械结构总体设计 | 第18-20页 |
| 2.2 压电陶瓷 | 第20-23页 |
| 2.2.1 压电效应 | 第20-22页 |
| 2.2.2 叠堆型压电陶瓷 | 第22-23页 |
| 2.3 粘贴板的设计 | 第23-24页 |
| 2.4 光滑支撑块的设计 | 第24-26页 |
| 2.5 磁性座的设计 | 第26-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 压电电压放大电路设计及上位机软件编程 | 第29-40页 |
| 3.1 压电陶瓷驱动方法 | 第29-30页 |
| 3.1.1 电压驱动方法 | 第29-30页 |
| 3.1.2 电流驱动方法 | 第30页 |
| 3.2 压电电压放大电路设计 | 第30-34页 |
| 3.2.1 集成运算放大器的选用 | 第31-32页 |
| 3.2.2 相位补偿 | 第32-34页 |
| 3.2.3 输入输出保护电路 | 第34页 |
| 3.3 压电电压放大电路测试 | 第34-36页 |
| 3.3.1 压电电压放大电路的噪声测试 | 第34-35页 |
| 3.3.2 压电电压放大电路的阶跃响应测试 | 第35-36页 |
| 3.4 上位机软件编程 | 第36-39页 |
| 3.4.1 安捷伦N1231B激光干涉仪信号处理卡 | 第36-37页 |
| 3.4.2 凌华PCI 6216V模拟输出卡 | 第37页 |
| 3.4.3 位移台步进软件设计 | 第37-39页 |
| 3.4.4 位移台步进软件测试 | 第39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 压电陶瓷叠堆特性检测及非线性修正 | 第40-51页 |
| 4.1 激光外差干涉测量法 | 第40-41页 |
| 4.2 剪切压电陶瓷叠堆微位移测量系统 | 第41-43页 |
| 4.3 剪切压电陶瓷叠堆特性检测实验 | 第43-45页 |
| 4.3.1 迟滞非线性特性检测 | 第43-44页 |
| 4.3.2 蠕变特性检测 | 第44-45页 |
| 4.4 剪切压电陶瓷块迟滞非线性修正 | 第45-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 纳米位移台构建及实验验证 | 第51-60页 |
| 5.1 纳米位移台的构建 | 第51-53页 |
| 5.2 纳米位移台测控系统 | 第53-55页 |
| 5.3 纳米位移台单次步进实验 | 第55-58页 |
| 5.3.1 X方向单次步进实验 | 第55-57页 |
| 5.3.2 Y方向单次步进实验 | 第57页 |
| 5.3.3 纳米位移台耦合误差实验 | 第57-58页 |
| 5.4 纳米位移台 1 mm步进实验 | 第58-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 总结和展望 | 第60-63页 |
| 6.1 论文总结 | 第60-61页 |
| 6.2 论文展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 发表的学术论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |