| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 非晶合金的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2 非晶态合金的结构特点 | 第13-14页 |
| 1.3 非晶形成机制和经验规律 | 第14-15页 |
| 1.3.1 非晶形成理论 | 第14-15页 |
| 1.3.2 关于二元非晶态合金形成的经验规则 | 第15页 |
| 1.4 非晶合金的制备方法 | 第15-17页 |
| 1.4.1 电镀法 | 第15-16页 |
| 1.4.2 喷铸—吸铸技术 | 第16页 |
| 1.4.3 甩带法 | 第16页 |
| 1.4.4 粉末固结法 | 第16-17页 |
| 1.4.5 惰性气体冷凝法 | 第17页 |
| 1.4.6 磁控溅射法 | 第17页 |
| 1.5 多层膜结构的非晶薄膜研究 | 第17-22页 |
| 1.5.1 非晶多层膜的研究意义 | 第17-18页 |
| 1.5.2 非晶多层膜的纳米结构 | 第18-19页 |
| 1.5.3 多层膜中原子的互扩散 | 第19-21页 |
| 1.5.5 不相容原子的互扩散 | 第21-22页 |
| 1.6 本文的选题意义及研究内容 | 第22-24页 |
| 2 材料制备与检测方法 | 第24-31页 |
| 2.1 实验材料的选择 | 第24页 |
| 2.1.1 靶材 | 第24页 |
| 2.1.2 基片 | 第24页 |
| 2.1.3 气体 | 第24页 |
| 2.2 磁控溅射制备方法 | 第24-27页 |
| 2.3 分析与检测方法 | 第27-30页 |
| 2.3.1 扫描电镜分析 | 第27-28页 |
| 2.3.2 FIB/SEM | 第28页 |
| 2.3.3 X射线衍射分析 | 第28页 |
| 2.3.4 DSC热力学分析 | 第28-29页 |
| 2.3.5 XPS分析 | 第29页 |
| 2.3.6 透射电镜分析 | 第29页 |
| 2.3.7 三维原子探针分析 | 第29页 |
| 2.3.8 综合物性测量系统 | 第29-30页 |
| 2.4 实验主要过程 | 第30-31页 |
| 3 CuZr与FeZr的非晶形成能力探究 | 第31-40页 |
| 3.1 CuZr的非晶形成能力探究 | 第31-36页 |
| 3.1.1 样品制备 | 第31-34页 |
| 3.1.2 扫描电镜形貌分析 | 第34-35页 |
| 3.1.3 DSC热力学分析 | 第35-36页 |
| 3.2 FeZr的非晶形成能力探究 | 第36-39页 |
| 3.2.1 X射线衍射分析 | 第36-37页 |
| 3.2.2 薄膜的生长速率分析 | 第37-38页 |
| 3.2.3 DSC热力学分析 | 第38-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 Fe_(75)Zr_(25)/Cu_(64)Zr_(36)的界面扩散探究 | 第40-48页 |
| 4.1 实验过程 | 第40页 |
| 4.2 X射线衍射分析 | 第40-41页 |
| 4.3 扫描电镜分析 | 第41-42页 |
| 4.4 TEM分析 | 第42-43页 |
| 4.4.1 TEM样品的制备 | 第42页 |
| 4.4.2 TEM结果分析 | 第42-43页 |
| 4.5 STEM-EDS分析 | 第43页 |
| 4.6 APT分析 | 第43-47页 |
| 4.6.1 APT样品的制备 | 第44页 |
| 4.6.2 APT结果分析 | 第44-47页 |
| 4.7 本章小结 | 第47-48页 |
| 5 Fe_(75)Zr_(25)/Cu_(64)Zr_(36)体系多层膜磁性探究 | 第48-62页 |
| 5.1 Fe_(75)Zr_(25)单层膜的磁性探究 | 第48-51页 |
| 5.1.1 XPS分析 | 第48-50页 |
| 5.1.2 磁性分析 | 第50-51页 |
| 5.2 Fe_(75)Zr_(25)/Cu_(64)Zr_(36)多层膜体系磁性研究 | 第51-59页 |
| 5.2.1 多层膜的样品制备 | 第52-54页 |
| 5.2.2 多层膜的M-H研究 | 第54-55页 |
| 5.2.3 多层膜的FC-ZFC研究 | 第55-57页 |
| 5.2.4 多层膜的M-T研究 | 第57-58页 |
| 5.2.5 10nm厚度的Fe_(75)Zr_(25)/Cu_(64)Zr_(36)多层膜的M-H研究 | 第58-59页 |
| 5.3 Fe_(75)Zr_(25)/Cu多层膜体系磁性探究 | 第59-60页 |
| 5.3.1 多层膜的M-H研究 | 第59-60页 |
| 5.3.2 Fe_(75)Zr_(25)/Cu与Fe_(75)Zr_(25)/Cu_(64)Zr_(36)多层膜的ZFC-FC对比研究 | 第60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60-62页 |
| 6 结论 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-71页 |
| 附录 | 第71页 |
