| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-28页 |
| 1.1 光伏电力与晶体硅光伏产业背景 | 第10-13页 |
| 1.2 多晶硅光伏技术 | 第13-16页 |
| 1.3 金刚石线锯切割多晶硅片的应用与制绒障碍 | 第16-23页 |
| 1.4 直接生长法硅片的优势与制绒困难 | 第23-25页 |
| 1.5 气相刻蚀制绒技术 | 第25-26页 |
| 1.6 本文目的与内容 | 第26-28页 |
| 第2章 多晶硅片的酸蒸气刻蚀制绒 | 第28-92页 |
| 2.1 引言 | 第28-29页 |
| 2.2 实验方法与过程 | 第29-32页 |
| 2.2.1 实验材料与试剂 | 第29-30页 |
| 2.2.2 实验装置 | 第30-31页 |
| 2.2.3 实验过程 | 第31页 |
| 2.2.4 分析与表征方法 | 第31-32页 |
| 2.3 金刚石线锯切割多晶硅片的酸蒸气VE制绒 | 第32-74页 |
| 2.3.1 酸蒸气VE制绒的多因素实验 | 第32-68页 |
| 2.3.1.1 各气源混合酸体积比下的酸蒸气刻蚀制绒及其制绒时间影响 | 第32-44页 |
| 2.3.1.2 HF(aq)/HNO_3(aq)体积比1:2的气源酸溶液温度及制绒时间影响 | 第44-50页 |
| 2.3.1.3 HF(aq)/HNO_3(aq)体积比1:3的气源酸溶液温度及制绒时间影响 | 第50-58页 |
| 2.3.1.4 HF(aq)/HNO_3(aq)体积比1:4的气源酸溶液温度及制绒时间影响 | 第58-64页 |
| 2.3.1.5 HF(aq)/HNO_3(aq)体积比1:5的气源酸溶液温度及制绒时间影响 | 第64-66页 |
| 2.3.1.6 气源酸溶液配比、酸溶液温度、制绒时间对制绒效果的综合影响 | 第66-68页 |
| 2.3.2 硅片保温温度对酸蒸气制绒效果的影响 | 第68-72页 |
| 2.3.2.1 不同硅片保温温度条件下的制绒效果 | 第69-70页 |
| 2.3.2.2 硅片保温条件下不同时间的制绒效果 | 第70-72页 |
| 2.3.3 酸蒸气刻蚀制绒体系的稳定性 | 第72-74页 |
| 2.4 直接生长法硅片的酸蒸气VE制绒 | 第74-84页 |
| 2.4.1 直接生长法硅片的常规酸性湿法制绒困境 | 第74-76页 |
| 2.4.2 气源酸溶液配比对DW硅片酸蒸气VE制绒的影响 | 第76-81页 |
| 2.4.3 气源酸溶液温度对DW硅片酸蒸气VE制绒的影响 | 第81-84页 |
| 2.5 不同多晶硅片的酸蒸气VE制绒效果 | 第84-89页 |
| 2.6 小结 | 第89-92页 |
| 第3章 晶体硅的酸蒸气刻蚀机理与形貌控制 | 第92-121页 |
| 3.1 气体与液滴对硅片表面的刻蚀作用 | 第92-99页 |
| 3.2 酸蒸气气相刻蚀过程的微液滴刻蚀机理 | 第99-107页 |
| 3.2.1 金刚石切割硅片气相刻蚀过程与表面微观形貌的演变 | 第99-102页 |
| 3.2.2 气相刻蚀过程中的微液滴刻蚀机理 | 第102-104页 |
| 3.2.3 酸蒸气刻蚀反应与绒面形成机理 | 第104-107页 |
| 3.3 酸蒸气VE制绒影响控制因素对制绒形貌的影响 | 第107-115页 |
| 3.3.1 气源混合酸的温度对VE制绒形貌的影响机理 | 第107-113页 |
| 3.3.2 气源混合酸配比对气相制绒的影响机理 | 第113-115页 |
| 3.4 形貌控制条件与稳定均匀性的控制 | 第115-119页 |
| 3.5 小结 | 第119-121页 |
| 第4章 总结与展望 | 第121-123页 |
| 4.1 本文研究结论 | 第121-122页 |
| 4.2 进一步工作的方向 | 第122-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 参考文献 | 第124-132页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第132页 |
