| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| ·研究背景 | 第11-12页 |
| ·退除氮化物硬质膜技术概述 | 第12页 |
| ·退除含 Cr 氮化物硬质膜的研究进展 | 第12-14页 |
| ·酸类方法退除含 Cr 膜层 | 第13页 |
| ·电化学方法退除含 Cr 膜层 | 第13-14页 |
| ·研究目标和内容概述 | 第14-15页 |
| ·本研究的技术路线 | 第15-17页 |
| 第2章 试验材料、条件与试验方法 | 第17-25页 |
| ·镀膜基体材料 | 第17-18页 |
| ·靶材的选择及镀膜设备的简介 | 第18-19页 |
| ·退膜实验设备简介 | 第19页 |
| ·退除液组元的选择 | 第19-21页 |
| ·氧化剂的选择 | 第19-20页 |
| ·螯合剂的选择 | 第20页 |
| ·缓蚀剂的选择 | 第20页 |
| ·碱性化合物的选择 | 第20-21页 |
| ·试验参数的选择 | 第21-22页 |
| ·退除液组元组合的确定 | 第21页 |
| ·退除液组元浓度的确定 | 第21-22页 |
| ·退除液组元添加工艺步骤的确定 | 第22页 |
| ·表征方法 | 第22-25页 |
| 第3章 (Ti,Al,Zr,Cr)N 多组元硬质膜的退除研究 | 第25-42页 |
| ·(Ti,Al,Zr,Cr)N 多组元硬质膜的制备 | 第25-26页 |
| ·(Ti,Al,Zr,Cr)N 多组元硬质膜的退除 | 第26-34页 |
| ·退除液不同组元组合对退除(Ti,Al,Zr,Cr)N 多组元硬质膜的影响..16 | 第26-29页 |
| ·退除液组元浓度对退除(Ti,Al,Zr,Cr)N 多组元硬质膜的影响 | 第29-32页 |
| ·退除液组元添加步骤对退除(Ti,Al,Zr,Cr)N 多组元硬质膜的影响..22 | 第32-34页 |
| ·(Ti,Al,Zr,Cr)N 多组元硬质膜退除前后的形貌对比 | 第34-39页 |
| ·表面形貌对比 | 第34-38页 |
| ·表面粗糙度对比 | 第38-39页 |
| ·(Ti,Al,Zr,Cr)N 多组元硬质膜退除前后的成分分析 | 第39-40页 |
| ·退除液组元作用机理探讨 | 第40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 (Ti,Al,Cr)N 四组元硬质膜的退除研究 | 第42-60页 |
| ·(Ti,Al,Cr)N 四组元硬质膜的制备 | 第42-43页 |
| ·(Ti,Al,Cr)N 四组元硬质膜的退除 | 第43-50页 |
| ·退除液不同组元组合对退除(Ti,Al,Cr)N 四组元硬质膜的影响 | 第43-46页 |
| ·退除液组元浓度对退除(Ti,Al,Cr)N 四组元硬质膜的影响 | 第46-48页 |
| ·退除液组元添加步骤对退除(Ti,Al,Cr)N 四组元硬质膜的影响 | 第48-50页 |
| ·(Ti,Al,Cr)N 四组元硬质膜退除前后的形貌对比 | 第50-56页 |
| ·表面形貌对比 | 第50-54页 |
| ·表面粗糙度对比 | 第54-56页 |
| ·(Ti,Al,Cr)N 四组元硬质膜退除前后的成分分析 | 第56-57页 |
| ·退除液组元作用机理探讨 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-60页 |
| 第5章 (Ti,Cr)N 三组元硬质膜的退除研究 | 第60-78页 |
| ·(Ti,Cr)N 三组元硬质膜的制备 | 第60-61页 |
| ·(Ti,Cr)N 三组元硬质膜的退除 | 第61-68页 |
| ·退除液不同组元组合对退除(Ti,Cr)N 三组元硬质膜的影响 | 第61-64页 |
| ·退除液组元浓度对退除(Ti,Cr)N 三组元硬质膜的影响 | 第64-67页 |
| ·退除液组元添加步骤对退除(Ti,Cr)N 三组元硬质膜的影响 | 第67-68页 |
| ·(Ti,Cr)N 三组元硬质膜退除前后的形貌对比 | 第68-74页 |
| ·表面形貌对比 | 第68-73页 |
| ·表面粗糙度对比 | 第73-74页 |
| ·(Ti,Cr)N 三组元硬质膜退除前后的成分分析 | 第74-75页 |
| ·退除液组元作用机理探讨 | 第75页 |
| ·本章小结 | 第75-78页 |
| 第6章 结论 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-82页 |
| 在学期间研究成果 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
