| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 图表目录 | 第13-18页 |
| 1 绪论 | 第18-31页 |
| ·课题研究背景 | 第18-20页 |
| ·国内外研究现状 | 第20-29页 |
| ·大口径光学元件面形测量方法的比较 | 第20页 |
| ·Φ600mm移相干涉仪的研究进展 | 第20-23页 |
| ·移相干涉术的研究进展 | 第23-29页 |
| ·课题来源 | 第29页 |
| ·本论文的主要工作和内容安排 | 第29-31页 |
| 2 波长移相干涉机理的研究 | 第31-46页 |
| ·移相干涉术的基本原理 | 第31-33页 |
| ·波长移相干涉术的机理研究 | 第33-39页 |
| ·波长移相干涉术的基本原理 | 第33-34页 |
| ·激光器波长调谐原理 | 第34-37页 |
| ·波长调谐激光器的参数要求 | 第37-39页 |
| ·可调谐激光器高精度驱动系统 | 第39-45页 |
| ·高精度电压驱动源的设计 | 第40-44页 |
| ·高精度电压驱动源的测试结果 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 3 波长移相干涉移相量标定方法的研究 | 第46-62页 |
| ·标定移相量的原因分析 | 第46-48页 |
| ·干涉腔长的测量误差 | 第46-47页 |
| ·电压驱动源的输出电压误差 | 第47-48页 |
| ·基于李萨如图技术的移相量标定方法 | 第48-56页 |
| ·标定原理 | 第49-51页 |
| ·模拟仿真 | 第51-54页 |
| ·实际干涉图计算 | 第54-56页 |
| ·基于一维时域傅立叶变换的移相量标定方法 | 第56-61页 |
| ·标定原理 | 第56-58页 |
| ·实验与分析 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 4 波长移相干涉相位计算方法的研究 | 第62-86页 |
| ·长腔长下引起波面计算误差的原因分析 | 第62-66页 |
| ·激光器波长分辨率的限制 | 第63-64页 |
| ·环境振动的影响 | 第64-66页 |
| ·波长调谐随机移相算法 | 第66-71页 |
| ·算法原理 | 第66-68页 |
| ·模拟仿真 | 第68-70页 |
| ·实验与分析 | 第70-71页 |
| ·自适应相位筛选法 | 第71-76页 |
| ·原理 | 第71-74页 |
| ·实验与分析 | 第74-76页 |
| ·基于DCT算法的种子点法 | 第76-85页 |
| ·DCT算法原理 | 第77-78页 |
| ·DCT-SP算法原理 | 第78-80页 |
| ·实际计算与结果分析 | 第80-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 5 斐索型近红外大口径波长移相干涉仪的光学系统设计及精度分析 | 第86-106页 |
| ·干涉仪的光学系统设计 | 第86-93页 |
| ·干涉仪整体光路 | 第86-87页 |
| ·准直物镜 | 第87-89页 |
| ·成像系统 | 第89-93页 |
| ·近红外大口径波长移相干涉仪的调校 | 第93-95页 |
| ·利用ZYGO 24"干涉仪测量标准透射平晶面形误差 | 第95-98页 |
| ·ZYGO 24"干涉仪的系统精度检验 | 第95-97页 |
| ·ZYGO 24"干涉仪的测量误差 | 第97页 |
| ·石英标准透射平晶TF3#的测量 | 第97-98页 |
| ·干涉仪的光学质量与测量重复性 | 第98-103页 |
| ·光学质量与重复性测量 | 第98-101页 |
| ·三面互检对平晶的测量 | 第101-103页 |
| ·干涉仪测量不确定 | 第103-105页 |
| ·标准不确定度A类评定 | 第103页 |
| ·标准不确定度B类评定 | 第103-104页 |
| ·合成标准不确定度的计算 | 第104-105页 |
| ·本章小结 | 第105-106页 |
| 6 近红外大口径波长移相干涉仪的应用研究 | 第106-124页 |
| ·平行平板的测量 | 第106-117页 |
| ·平行平板测量的干涉方法分析 | 第106-108页 |
| ·波长移相干涉仪测量平行平板的原理 | 第108-111页 |
| ·模拟仿真 | 第111-114页 |
| ·实验 | 第114-116页 |
| ·分析及结论 | 第116-117页 |
| ·大口径光学元件的面形测量 | 第117-121页 |
| ·脉冲压缩光栅测量 | 第117-118页 |
| ·大口径碳化硅平面反射镜 | 第118-119页 |
| ·平面反射镜测量 | 第119-121页 |
| ·航天用轻量化微晶平晶检测 | 第121页 |
| ·小角度、长腔长下的测量 | 第121-123页 |
| ·本章小结 | 第123-124页 |
| 7 全文总结 | 第124-127页 |
| ·本文所做工作 | 第124-125页 |
| ·本文的创新点 | 第125-126页 |
| ·有待解决的问题 | 第126-127页 |
| 致谢 | 第127-128页 |
| 参考文献 | 第128-137页 |
| 附录 | 第137-138页 |