基于激光反馈自混合干涉的超声数控机床刀具振动测量初步研究

摘要	第1-9页
ABSTRACT	第9-11页
第一章 绪论	第11-17页
·课题研究背景和意义	第11-12页
·激光反馈自混合干涉技术国内外研究现状	第12-15页
·光反馈自混合干涉理论研究进展	第12-14页
·自混合干涉技术在测量振动中的运用	第14-15页
·论文的主要工作	第15-17页
第二章 激光反馈自混合干涉理论和微小振动测量方法	第17-27页
·自混合干涉理论	第17-23页
·Lang-Kobayashi 速率方程	第17-19页
·三镜 F-P 腔法	第19-23页
·微小振动测量方法	第23-26页
·条纹计数法	第23-24页
·波形重构测量法	第24-26页
·本章小结	第26-27页
第三章 压电陶瓷镜振动测量	第27-37页
·自混合系统测量振动的信号输出	第27-28页
·压电陶瓷镜振动测量	第28-34页
·实验方案	第28-30页
·实验观察与处理	第30-34页
·光反馈强度参数的频率响应	第34-36页
·本章小结	第36-37页
第四章 超声数控机床刀具振动测量	第37-48页
·光路选择	第37页
·刀具振动测量	第37-47页
·实验装置及自混合干涉信号	第37-40页
·振动振幅测量	第40-42页
·不同刀具振动比较	第42-47页
·本章小结	第47-48页
第五章 总结与展望	第48-50页
·论文工作总结	第48-49页
·论文后续工作及展望	第49-50页
致谢	第50-51页
参考文献	第51-55页
作者在学期间取得的学术成果	第55页