| 中文摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-28页 |
| ·课题背景与研究意义 | 第10-11页 |
| ·永磁材料的发展历史 | 第11-13页 |
| ·磁性材料的分类 | 第13-14页 |
| ·永磁材料的基本磁学参量 | 第14-18页 |
| ·饱和磁化强度 Ms | 第15页 |
| ·各向异性场 HA | 第15-16页 |
| ·剩余磁化强度 Mr 和 Br | 第16页 |
| ·矫顽力 | 第16-17页 |
| ·最大磁能积 | 第17-18页 |
| ·居里温度 | 第18页 |
| ·NdFeB 永磁合金 | 第18-21页 |
| ·烧结 NdFeB 的显微组织 | 第18-20页 |
| ·NdFeB 永磁合金的制备方法 | 第20页 |
| ·NdFeB 永磁合金的应用 | 第20-21页 |
| ·NdFeB 永磁薄膜 | 第21-26页 |
| ·NdFeB 永磁薄膜的制备 | 第21-26页 |
| ·NdFeB 永磁薄膜的应用 | 第26页 |
| ·课题的意义与研究内容 | 第26-28页 |
| ·课题研究意义 | 第26-27页 |
| ·研究内容 | 第27-28页 |
| 第二章 薄膜的制备及检测方法 | 第28-36页 |
| ·实验材料 | 第28页 |
| ·实验设备 | 第28-30页 |
| ·薄膜的制备 | 第30-31页 |
| ·薄膜的检测方法 | 第31-36页 |
| ·表面形貌测试 | 第31-32页 |
| ·样品粒度检测 | 第32-33页 |
| ·薄膜组织结构分析 | 第33页 |
| ·磁性能测试 | 第33-36页 |
| 第三章 Mo/Nd/NdFeB/Nd/Mo 多层膜组织结构及磁性能 | 第36-47页 |
| ·溅射速率的测定 | 第36-37页 |
| ·Mo/Nd/NdFeB/Nd/Mo 薄膜的制备 | 第37-38页 |
| ·退火温度对及 NdFeB 厚度对薄膜的结构与磁性能的影响 | 第38-45页 |
| ·薄膜的表面形貌分析 | 第39页 |
| ·退火温度对薄膜结构与磁性能的影响 | 第39-43页 |
| ·薄膜的原子力形貌分析 | 第43-44页 |
| ·薄膜的磁性能随退火温度及 NdFeB 厚度的变化 | 第44-45页 |
| ·小结 | 第45-47页 |
| 第四章 [NdFeB/Nd]n 交替多层膜组织结构与磁性能 | 第47-55页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·[NdFeB/Nd]n 交替多层膜的制备 | 第47-48页 |
| ·[NdFeB/Nd]n 交替多层膜结构与磁性能分析 | 第48-53页 |
| ·薄膜表面形貌分析 | 第48-50页 |
| ·交替多层膜的层数对薄膜组织结构的影响 | 第50-51页 |
| ·交替多层膜的层数对薄膜磁性能的影响 | 第51-52页 |
| ·固定层数时 NdFeB 厚度对薄膜磁性能影响 | 第52-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 第五章 NdFeB 薄膜的温度稳定性 | 第55-59页 |
| ·描述永磁材料温度稳定性的基本参量 | 第55-56页 |
| ·薄膜矫顽力的热稳定性研究 | 第56-59页 |
| 第六章 结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第69-70页 |
