基于双光栅干涉的位移测量系统设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·目的与意义 | 第8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-13页 |
| ·本文的研究内容 | 第13-14页 |
| 2 双光栅位移测量原理及仿真分析 | 第14-22页 |
| ·双光栅干涉的基本原理 | 第14-16页 |
| ·ZEMAX 对双光栅干涉原理的仿真 | 第16-18页 |
| ·基于角谱理论的干涉场光强分析 | 第18-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 双光栅干涉位移传感器的结构设计 | 第22-30页 |
| ·传感器系统的总体介绍 | 第22页 |
| ·机械结构中外购部件的选型 | 第22-25页 |
| ·位移传感器的机械结构设计 | 第25-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 4 条纹信号处理电路设计 | 第30-46页 |
| ·信号处理电路的总体介绍 | 第30-31页 |
| ·信号放大电路设计 | 第31-34页 |
| ·硬件细分与电压调整电路设计 | 第34-38页 |
| ·信号整形与辩向电路设计 | 第38-42页 |
| ·单片机系统 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 5 实验结果与误差分析 | 第46-54页 |
| ·实验及其结果 | 第46-49页 |
| ·误差因素分析 | 第49-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 6 总结与展望 | 第54-56页 |
| ·全文总结 | 第54页 |
| ·工作展望 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 附录 1 攻读学位期间发表学术论文目录 | 第60页 |
