微透镜阵列焦距及其一致性检测技术研究
| 致谢 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 前言 | 第11-23页 |
| ·研究背景及意义 | 第11-14页 |
| ·微透镜阵列焦距的主要检测方法 | 第14-21页 |
| ·论文研究内容和目标 | 第21-23页 |
| 第2章 剪切干涉法测量微透镜阵列 | 第23-45页 |
| ·概述 | 第23页 |
| ·剪切干涉法测量原理 | 第23-35页 |
| ·剪切干涉法的理论简介 | 第23-28页 |
| ·光栅剪切干涉法测量的理论基础 | 第28-35页 |
| ·剪切干涉测量结果 | 第35-37页 |
| ·剪切干涉法测量不确定度 | 第37-44页 |
| ·微透镜阵列子单元孔径测量不确定度 | 第37-39页 |
| ·0 级衍射光斑直径测量不确定度 | 第39页 |
| ·光栅与像面轴向距离测量不确定度 | 第39-40页 |
| ·光栅离焦量测量不确定度 | 第40-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第3章 光栅衍射分光测量微透镜阵列 | 第45-74页 |
| ·概述 | 第45-46页 |
| ·光栅衍射分光法理论基础 | 第46-50页 |
| ·光栅衍射分光法仿真分析 | 第50-51页 |
| ·光栅衍射分光法光斑干扰分析 | 第51-64页 |
| ·微透镜阵列子单元孔径变化产生的光斑干扰分析 | 第55-57页 |
| ·微透镜阵列焦距变化产生的光斑干扰分析 | 第57-59页 |
| ·光源波长变化产生的干扰分析 | 第59-61页 |
| ·光栅周期变化产生的干扰分析 | 第61-64页 |
| ·光栅衍射分光法测量结果 | 第64-68页 |
| ·光斑衍射分光法测量不确定度 | 第68-73页 |
| ·波长引起的测量不确定度 | 第68页 |
| ·光栅周期测量引起的测量不确定度 | 第68-69页 |
| ·清晰度定焦引起的测量不确定度 | 第69-70页 |
| ·光斑中心距引起的测量不确定度 | 第70-73页 |
| ·小结 | 第73-74页 |
| 第4章 图像处理法测量微透镜阵列 | 第74-93页 |
| ·概述 | 第74页 |
| ·图像处理法的理论基础 | 第74-79页 |
| ·图像处理法仿真分析 | 第79页 |
| ·测量结果分析 | 第79-83页 |
| ·图像处理法测量不确定度分析 | 第83-92页 |
| ·初始距离误差引起的测量不确定度 | 第83页 |
| ·光轴偏移引起的测量不确定度 | 第83-84页 |
| ·清晰度定焦技术引起测不确定度 | 第84-91页 |
| ·光管准直性引起的测量不确定度 | 第91-92页 |
| ·小结 | 第92-93页 |
| 第5章 哈特曼波前检测法测量微透镜阵列 | 第93-108页 |
| ·概述 | 第93-94页 |
| ·哈特曼波前检测法原理 | 第94-98页 |
| ·ZEMAX 仿真分析 | 第98-101页 |
| ·哈特曼波前检测法测量结果 | 第101-104页 |
| ·测量不确定度分析 | 第104-106页 |
| ·子单元孔径产生的测量不确定度 | 第104-105页 |
| ·光斑偏移产生的测量不确定度 | 第105页 |
| ·表面距离产生的测量不确定度 | 第105-106页 |
| ·小结 | 第106-108页 |
| 第6章 检测方法精度与范围标定 | 第108-117页 |
| ·概述 | 第108-109页 |
| ·剪切干涉法精度与范围标定 | 第109-111页 |
| ·剪切干涉法测量范围 | 第109页 |
| ·剪切干涉法精度标定 | 第109-111页 |
| ·光栅衍射法精度和范围标定 | 第111-113页 |
| ·光栅衍射法测量范围 | 第111-112页 |
| ·光栅衍射法精度标定 | 第112-113页 |
| ·图像处理法精度和范围标定 | 第113-114页 |
| ·图像处理法测量范围 | 第113页 |
| ·图像处理法精度标定 | 第113-114页 |
| ·哈特曼检测法精度和范围标定 | 第114-116页 |
| ·哈特曼检测法测量范围 | 第114-115页 |
| ·哈特曼检测法精度标定 | 第115-116页 |
| ·小结 | 第116-117页 |
| 第7章 总结与展望 | 第117-121页 |
| ·论文主要研究成果 | 第117-118页 |
| ·论文创新点总结 | 第118-119页 |
| ·研究展望 | 第119-121页 |
| 参考文献 | 第121-126页 |
| 作者简介及在读期间发表的学术论文与研究成果 | 第126-127页 |
