低气压双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱实验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·等离子体简介 | 第10-11页 |
| ·低温等离子体源 | 第11-17页 |
| ·微波电子回旋共振等离子体源 | 第12-13页 |
| ·感性耦合等离子体源 | 第13-14页 |
| ·单频容性耦合等离子体源 | 第14-15页 |
| ·频容性耦合等离子体源 | 第15-17页 |
| ·容性耦合等离子体源实验研究概况 | 第17-18页 |
| ·本论文的选题依据和研究意义 | 第18-20页 |
| 2 实验装置和实验方法 | 第20-31页 |
| ·DF-CCP相分辨发射光谱诊断装置 | 第20-26页 |
| ·高低频射频电源 | 第20-22页 |
| ·放电腔室结构 | 第22页 |
| ·配气及真空系统 | 第22-23页 |
| ·光谱诊断系统 | 第23-26页 |
| ·等离子体发射光谱诊断方法 | 第26-31页 |
| ·发射光谱法介绍 | 第26-27页 |
| ·相分辨发射光谱原理 | 第27-29页 |
| ·相分辨发射光谱应用 | 第29-31页 |
| 3 氩气相分辨发射光谱测量 | 第31-44页 |
| ·双频容性耦合氩等离子体 | 第31-32页 |
| ·氩等离子体时间空间分辨诊断 | 第32-35页 |
| ·鞘层扩张引起的激发模式 | 第34页 |
| ·二次电子引起的激发模式 | 第34-35页 |
| ·不同放电参数下时间空间分辨研究 | 第35-43页 |
| ·高频功率的影响 | 第35-36页 |
| ·低频功率的影响 | 第36-38页 |
| ·放电气压的影响 | 第38-40页 |
| ·氧气含量的影响 | 第40-41页 |
| ·极板间距的影响 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 不同放电参数下轴向空间分辨研究 | 第44-50页 |
| ·等离子体轴向分辨测量 | 第44-45页 |
| ·高频功率的影响 | 第45页 |
| ·低频功率的影响 | 第45-46页 |
| ·放电气压的影响 | 第46-47页 |
| ·氧气含量的影响 | 第47-48页 |
| ·极板间距的影响 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 氧气相分辨发射光谱测量 | 第50-62页 |
| ·双频容性耦合氧等离子体 | 第50-51页 |
| ·频容性耦合等离子体氧气激发模式 | 第51-53页 |
| ·O777.4 nm激发速率轮廓 | 第51-52页 |
| ·O844.6 nm激发速率轮廓 | 第52-53页 |
| ·高频功率的影响 | 第53-56页 |
| ·低频功率的影响 | 第56-58页 |
| ·放电气压的影响 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
