| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第10-14页 |
| ·等离子体简介 | 第10-12页 |
| ·低温等离子体的研究方法 | 第12-14页 |
| 2 PIC-MCC方法介绍 | 第14-26页 |
| ·粒子模拟(PIC) | 第15-20页 |
| ·带电粒子的初始化 | 第15-16页 |
| ·粒子云分布法求解网格电荷密度 | 第16-17页 |
| ·电场求解 | 第17-19页 |
| ·带电粒子的推动 | 第19-20页 |
| ·运动到边界的带电粒子的处理 | 第20页 |
| ·蒙特卡罗碰撞(Monte Carlo Collision) | 第20-26页 |
| ·确定是否发生碰撞及判断碰撞类型 | 第21-22页 |
| ·碰撞后粒子能量和运动方向的处理 | 第22-26页 |
| 3 射频源与脉冲源联合驱动的氢气放电的PIC-MCC模拟 | 第26-43页 |
| ·模型简介 | 第26-28页 |
| ·射频源和脉冲源双源联合驱动氢放电的等离子体性质 | 第28-33页 |
| ·等离子体密度 | 第29-30页 |
| ·等离子体能量 | 第30-33页 |
| ·脉冲上升沿,坪区,下降沿对等离子体性质的影响 | 第33-38页 |
| ·脉冲上升沿和下降沿对等离子体性质的影响 | 第33-36页 |
| ·脉冲坪区对等离子体性质的影响 | 第36-38页 |
| ·脉冲下降沿激发的电子非线性振荡的物理机制 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 4 接地极板上覆盖介质板对放电的影响 | 第43-47页 |
| ·电场的求解 | 第43页 |
| ·到达边界的带电粒子的处理 | 第43-44页 |
| ·初步结果和讨论 | 第44-46页 |
| ·总结及展望 | 第46-47页 |
| 结论 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |