点光源阵列多重波面自由曲面检测系统设计与研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 引言 | 第7-12页 |
| ·课题背景 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-10页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第10-12页 |
| 2 光学自由曲面检测技术 | 第12-21页 |
| ·反射光栅摄影测量法 | 第12-13页 |
| ·光学计算全息CGH | 第13-14页 |
| ·多重倾斜波面梯度补偿法 | 第14-20页 |
| ·波前梯度补偿基本原理 | 第14-17页 |
| ·点光源阵列多重波面干涉测量系统原理 | 第17-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 3 点光源阵列多重波面干涉系统设计 | 第21-35页 |
| ·干涉仪技术指标 | 第21-22页 |
| ·系统基本结构参数分析讨论 | 第22-29页 |
| ·标准镜组焦面处点光源阵列像参数的分析 | 第24-26页 |
| ·标准镜组基本机构参数的分析讨论 | 第26-28页 |
| ·补偿球面镜后光束孔径角的确定 | 第28-29页 |
| ·考虑干涉容限的点光源阵列参数分析 | 第29-31页 |
| ·系统基本结构计算分析 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 4 基于点光源阵列的斜率补偿系统 | 第35-50页 |
| ·微透镜阵列结构参数分析测量 | 第35-40页 |
| ·显微测量法 | 第35-36页 |
| ·表面轮廓测量法 | 第36页 |
| ·焦距仪测量法 | 第36-37页 |
| ·干涉测量法 | 第37-38页 |
| ·微透镜阵列焦距实验分析 | 第38-40页 |
| ·针孔阵列参数计算及设计 | 第40-45页 |
| ·针孔阵列与液晶光阀 | 第40-43页 |
| ·针孔阵列的加工方法及参数设计计算 | 第43-45页 |
| ·动态掩膜板基本结构参数的计算设计 | 第45-46页 |
| ·多重倾斜波面梯度补偿系统装调 | 第46-49页 |
| ·多重倾斜波面梯度补偿系统的机械装夹结构 | 第46-47页 |
| ·多重倾斜波面梯度补偿系统的装调 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 系统构建与调试 | 第50-59页 |
| ·机械结构设计 | 第50-51页 |
| ·系统的构建装校 | 第51-56页 |
| ·参考光路反射镜的装调 | 第51-53页 |
| ·测试光路分光棱镜的装调 | 第53-54页 |
| ·测试光路标准镜组的装调 | 第54-55页 |
| ·多重倾斜波面梯度补偿系统和成像系统的装调 | 第55-56页 |
| ·系统装调实验结果 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 6 总结与展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
